リングオシレータを用いたACホットキャリア寿命の検討
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概要
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ホットキャリア劣化のDCストレス評価における劣化パラメータ依存性およびリングオシレータを用いたACストレス評価の回路パラメータ依存性について検討を行った。その結果以下のことが明らかとなった。1. DCストレス評価におけるトレイン電流劣化は測定条件に大きく依存する。2. リングオシレータを用いたACストレス評価でのスピード劣化はリングオシレータの段数(発振周波数)、ゲート幅比、出力負荷(F.O.)等の回路パラメータに大きく依存する。したがって、ホットキャリア劣化のDC寿命とAC寿命を比較検討する場合、DC寿命、AC寿命それぞれの定義およびその測定条件と回路パラメータを充分考慮に入れて比較する必要がある。また、実際のLSIレベルでのホットキャリア劣化寿命を正確に予測していくためには今回検討したような回路パラメータの依存性を更に詳細に把握していく必要がある。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-08
著者
-
藤本 昌宏
松下電子工業(株)半導体社品質技術部
-
中野 真冶
松下電子工業(株)半導体事業本部品質技術部
-
和田 哲明
松下電子工業(株)半導体事業本部品質技術部
-
鈴木 岳
松下電子工業(株)半導体事業本部品質技術部
-
和田 哲明
松下電器産業(株) 半導体社 品質技術グループ
-
和田 哲明
松下電子工業(株)
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