電気接触部に対するシリコーン濃度の影響 : その安全限界レベルと重合度との関係について
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概要
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接触障害におよぼすシリコーン蒸気濃度影響をマイクロリレーとマイクロモータを用いて研究した。接触信頼性に影響しないような最小の限界濃度が存在することを明にした。この限界濃度レベルは、10ppm(0.13mg/1)であった。この限界レベルの妥当性をシリコン濃度、分解温度、Si0_2皮膜の厚さ、および接触抵抗等の相互の関係において検証した。さらに、この限界濃度におよぼすシリコーン重合度の影響を理論的に導いた。これらの結果は、シリコーン汚染に原因する接触障害のデータで裏付けられた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-10-20
著者
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