有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-09-21
著者
-
森 滋
信越化学工業, シリコーン電子材料技術研究所
-
森 滋
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
-
荒又 幹夫
信越化学工業(株)群馬事業所
-
福島 基夫
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
-
福島 基夫
信越化学工業(株)
関連論文
- 有機ケイ素化合物のメタステーブルイオンおよび衝突活性化分解
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第4報) : 金属パターンの構造解析とその改良
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第2報) : 自己組織化単分子膜による微細パターン化の研究
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成
- SC-6-9 ポリシランを用いた新しい微細配線技術
- ポリシランの構造制御に関する研究 (第2報) : PDHSの温度による結晶構造変化と成膜による構造制御について
- ポリシランの構造制御に関する研究(第2報) : PDHSの温度による結晶構造変化と成膜による構造制御について
- ポリシランの構造制御(1)PDMSの真空蒸着機構とその膜の構造
- ポリシランの電気化学的ドーピングとその光学的挙動
- 有機ポリシランの分子構造と導電化機構についての解析
- 電気接触部に対するシリコーン濃度の影響 : その安全限界レベルと重合度との関係について
- 固体^Si NMRのシリコーンゴム中シリカ-シロキサン界面分析への応用
- シリコ-ン表面処理 (表面処理)
- 導電性ゴム (最近の通信用材料特集) -- (エキゾチック材料)
- ポリシランと貴金属塩を用いた微細金属パターンの作製
- シリコーン表面処理