福島 基夫 | 信越化学工業(株)
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概要
関連著者
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福島 基夫
信越化学工業(株)
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荒又 幹夫
信越化学工業(株)群馬事業所
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福島 基夫
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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森 滋
信越化学工業, シリコーン電子材料技術研究所
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森 滋
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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田部井 栄一
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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濱田 吉隆
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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古川 昌司
九州工業大学・大学院情報工学研究科
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古川 昌司
九州工業大学
著作論文
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第4報) : 金属パターンの構造解析とその改良
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第2報) : 自己組織化単分子膜による微細パターン化の研究
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成
- 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成
- SC-6-9 ポリシランを用いた新しい微細配線技術
- ポリシランの構造制御に関する研究 (第2報) : PDHSの温度による結晶構造変化と成膜による構造制御について
- ポリシランの構造制御に関する研究(第2報) : PDHSの温度による結晶構造変化と成膜による構造制御について
- ポリシランの電気化学的ドーピングとその光学的挙動
- 有機ポリシランの分子構造と導電化機構についての解析
- ポリシランと貴金属塩を用いた微細金属パターンの作製