濱田 吉隆 | 信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所

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概要

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• 信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所の論文著者

関連著者

• 濱田 吉隆

  信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所

• 荒又 幹夫

  信越化学工業(株)群馬事業所

• 田部井 栄一

  信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所

• 福島 基夫

  信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所

• 福島 基夫

  信越化学工業(株)

• 大岩 徳久

  (株)東芝セミコンダクター社

• 塩原 英志

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 吉川 佐和子

  (株)東芝研究開発センター

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センター

• 中野 義彦

  (株)東芝研究開発センター

• 太田 英男

  (株)東芝研究開発センター

• 佐藤 康彦

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 三好 靖郎

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 大西 廉伸

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 阿部 淳子

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 松山 日出人

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 濱田 吉隆

  信越化学(株)シリコーン電子材料技術研究所

• 大岩 徳久

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 柿本 正也

  住友電気工業(株)大阪研究所

• 赤阪 健

  新渇大学大学院自然科学研究科

• Akasaka Takeshi

  Course Of Fundamental Studies And Energy Technology Graduate School Of Science And Technology Niigat

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センタ

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著作論文

• ポリシランを用いたLSI超微細加工用パターントランスファー膜特性と分子構造との相関 : 反射防止膜とパターントランスファー特性を兼ね備えたLSI微細加工用材料
• ポリシラン/フラーレン系の導電性に関する検討
• 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第4報) : 金属パターンの構造解析とその改良
• 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
• 有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
• SC-6-9 ポリシランを用いた新しい微細配線技術

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