塩原 英志 | (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

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概要

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関連著者

• 大岩 徳久

  (株)東芝セミコンダクター社

• 塩原 英志

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 佐藤 康彦

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 大西 廉伸

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 阿部 淳子

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 松山 日出人

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 吉川 佐和子

  (株)東芝研究開発センター

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センター

• 中野 義彦

  (株)東芝研究開発センター

• 太田 英男

  (株)東芝研究開発センター

• 三好 靖郎

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 濱田 吉隆

  信越化学(株)シリコーン電子材料技術研究所

• 市之瀬 秀夫

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 三吉 靖郎

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 中野 義彦

  研究開発センター

• 太田 英男

  研究開発センター

• 早瀬 修二

  研究開発センター

• 濱田 吉隆

  信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所

• 大岩 徳久

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センタ

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著作論文

• ポリシランを用いたLSI超微細加工用パターントランスファー膜特性と分子構造との相関 : 反射防止膜とパターントランスファー特性を兼ね備えたLSI微細加工用材料
• 30a-YE-1 新反射防止膜の加工特性

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