SC-6-9 ポリシランを用いた新しい微細配線技術
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-08-29
著者
-
濱田 吉隆
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
-
荒又 幹夫
信越化学工業(株)群馬事業所
-
田部井 栄一
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
-
福島 基夫
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
-
福島 基夫
信越化学工業(株)
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