有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第2報) : 自己組織化単分子膜による微細パターン化の研究
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概要
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ポリシランフィルムにパラジウム塩溶液を接触させるとポリシランの還元力によりパラジウムコロイドが生成し、これを触媒として無電解めっきを行うことにより金属ニッケルや金属銅がポリシランフィルム上に生成することを見い出している。また、フォトリソグラフィー法を用いて金属微細パターンを形成することに成功している。本研究においてはより微細な金属パターン形成を目指して、マイクロスタンプ法を用いてL/S 1μmレベルの金属微細パターンを作成するとともに、パターン形成過程について原子間力顕微鏡を用いて考察を行った。
- 2000-04-28
著者
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森 滋
信越化学工業, シリコーン電子材料技術研究所
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森 滋
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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荒又 幹夫
信越化学工業(株)群馬事業所
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田部井 栄一
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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福島 基夫
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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福島 基夫
信越化学工業(株)
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