有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第4報) : 金属パターンの構造解析とその改良

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概要

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我々は、ポリシラン膜の還元性を用いて、まずパラジウムコロイドを形成させ、これを触媒としてニッケル等の無電解メッキを行うことによって、ポリシラン膜上に金属膜を形成することができることを見いだした。そして、今までにこの金属膜の耐食性、接着性の改良を行うとともに、例えばフレキシブルプリント基板のような金属パターン形成のための研究を行ってきた。今回、こうして作成した多層金属膜の構造解析を行い、より安定性が高く微細な構造のフレキシブルプリント基板の作成を念頭に研究を行ったので報告する。
2001-04-20

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