有機ポリシラン膜を用いた金属パターン形成(第3報) : 微細パターンの金属多層化の研究
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概要
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ポリシランフィルムにパラジウム塩溶液を接触させると、ポリシランの還元力によりパラジウムコロイドが生成する。これを触媒として、無電解めっきを行うことにより金属ニッケルや金属銅をポリシランフィルム上に作成することが可能であり、マイクロスタンプ法を併用することにより1μmレベルの金属微細パターンを作成することに成功している。本研究は、実用化を目指して金属パターンの多層化について検討を行ったところ、ポリシランフィルムへの光照射が密着性に有効であることを見出したのでこれについて報告する。
- 2000-09-15
著者
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濱田 吉隆
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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荒又 幹夫
信越化学工業(株)群馬事業所
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田部井 栄一
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
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福島 基夫
信越化学工業(株)シリコーン電子材料技術研究所
-
福島 基夫
信越化学工業(株)
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