シリコーン蒸気中におけるマイクロリレーの接触不良に及ぼす開閉頻度の影響
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概要
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高分子シリコーンを使った製品から低分子量のシリコーンが蒸発する場合がある。接触部表面に吸着したシリコーン分子は、接触部の開閉で生ずる放電によってSiO_2に分解し、接触障害を引き起こす。SiO_2の生成量はシリコーン分子の吸着量に関係する。その吸着量を決定する1要因として、濃度が一定であれば、シリコーン雰囲気への表面の放置時間がある。これは開閉接触部では、開閉頻度に関係する。そこで、シリコーン蒸気の吸着量を調べたところ、時間の経過と共に吸着膜厚が増加することを見い出した。そして、マイクロリレーの接触抵抗に及ぼす開閉頻度の影響を調べたところ、開閉頻度が低い程、早く接触抵抗が増大することを見い出した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-15
著者
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