導電性ダイアモンド状炭素膜を被覆した微小電子源の電子放出特性
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概要
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電界放出微小エミッタは新しいディスプレイデバイスなどへの応用が期待されている. そのためにはエミッション電流の安定化とエミッタ駆動電圧の低減化が望まれる. 本研究に用いたスーパーマグネトロンプラズマCVD装置においては, RFパワー, 基板温度などにより導電性などが大きく変化する. そこで, 様々な導電性を持つDLC膜をコーティングしたSiコーン型エミッタからのエミッション電流特性の関係を測定したので報告する. このエミッタからの放出電流特性は典型的なエミッション電流特性を示し、導電性DLC膜をコーティングすることによるエミッタの駆動電圧の低減が確認された。また、エミッション電流のランダムノイズがコーティングにより低減されることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-12-11
著者
-
増田 剛
静岡大学 電子工学研究所
-
安藤 隆男
静岡大学
-
安藤 隆男
静岡大学電子工学研究所
-
安藤 隆男
静岡大学電子工学研究所 テレビジョン学会画像入力シンポジウム実行委員会
-
安藤 隆男
財団法人浜松地域テクノポリス推進機構浜松地域知的クラスター本部
-
澤田 和明
静岡大学電子工学研究所
-
木下 治久
静岡大学電子工学研究所
-
増田 剛
静岡大学電子工学研究所
-
半戸 琢也
静岡大学電子工学研究所
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