27pC2 水素プラズマ処理による微結晶シリコンの核形成と成長(気相成長III)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1993-07-10

著者

• 小田 俊理

  東工大工

• 小田 俊理

  東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター

• 乙部 雅則

  東京工業大学工学部

• Oda S

  Tokyo Inst. Technol. Tokyo Jpn

• Oda Shunri

  Research Center For Quantum Effect Electronics And Department Of Physical Electronics Tokyo Institut

• Oda Shunri

  The Graduate School At Nagatsuta Tokyo Institute Of Technology

• 小田 俊理

  東京工業大学総合理工学研究科

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