F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
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概要
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In manufacturing process of silicon semiconductor devices using vertical heating furnaces, large numbers of wafers arranged in stacks, and a thin film is deposited on the silicon wafer by reactant gases at heating at 500℃ from 1000℃. Recently, high component density of devices is progressing, therefore it is necessary to form the thin films of homogeneous thickness on the wafer rapidly. To make thin films, accurate temperature control of the wafer is very important. This research reported here, the transitional temperature changes of the wafers in the furnace are evaluated by changing the spacing the wafer stack. In addition, the numerical simulation of the radiation was performed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-06
著者
-
菊田 和重
北大
-
近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
-
菱沼 孝夫
E&e研究所
-
近久 武美
北大工
-
菊田 和重
北大工
-
菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
-
佐々木 隆史
北大院
-
菱沼 孝夫
北大工
-
宮田 敏光
日立国際電気
-
山口 天和
日立国際電気
-
菱沼 孝夫
北海道大学
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