F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析
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概要
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In the manufacturing process of silicon semiconductor devices, it is required that a more uniform thin film is deposited on the silicon wafer. When thin film deposition is performed using vertical heating furnace, flow control of the reactant gas across the wafers to enable the deposition of thinner films in addition to temperature control are very important. The research reported here, clarified flow patterns and temperature of the gas on the wafer surface by numerical simulation and measurements on the wafer were carried out by a PIV method with gas flow in a trial reactor.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-06
著者
-
菊田 和重
北大
-
斎藤 直子
北海道大学大学院工学研究科
-
近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
-
菱沼 孝夫
E&e研究所
-
近久 武美
北大工
-
菊田 和重
北大工
-
菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
-
菱沼 孝夫
北大工
-
宮田 敏光
日立国際電気
-
山口 天和
日立国際電気
-
斎藤 直子
北大院
-
菱沼 孝夫
北海道大学
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