523 ウエハプロセスにおけるシリコンウエハの過渡的な温度変化特性と数値シミュレーション(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper investigates the radiative cooling characteristics of the silicon wafer in vertical heating furnace was examined using experiment and numerical calculation. As the result, the largest cooling speed of the wafers became about 110℃/min, simultaneously examination for the thermal stress seems to be also necessary, because the maximum temperature difference of wafer surface is also considerably big. The numerical simulation showed good correspondence of the experimental result.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-09-25
著者
-
菊田 和重
北大
-
工藤 一彦
北大工
-
持田 明野
北大工
-
菱沼 孝夫
E&e研究所
-
近久 武美
北大工
-
菊田 和重
北大工
-
菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
-
佐々木 隆史
北大院
-
菱沼 孝夫
北大工
-
菱沼 孝夫
北海道大学
関連論文
- 高沸点有機溶媒用気化器内の流動挙動に関する可視化観察
- 2302 ディーゼル機関内混合制御によるNOx低減のための効果解析(S25 エンジンの排気浄化・後処理,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- W12-(1) 創成教育とプロジェクト課題
- 機構創出とものづくり教育のための創成型教育 (特集欄 創造設計へのアプローチ)
- (182)北海道大学機械工学科における創成科目の試み : 機構考案製作コンテストの実施と成果(第48セッション 創成教育(VII))
- E231 潜熱蓄熱エマルジョンスラリーの冷却特性測定
- 三次元任意形状系における放射伝熱解析への四面体要素の適用
- 創成教育の全学展開(設計工学からみた創成教育の課題と実践III,W12 設計工学・システム部門企画)
- 154 北海道大学における「創成科目」の実施状況 : 三年間の歩み(創成教育IV,第39セッション)
- (183)北海道大学の全学初習教育における「創成科目」の実施について(第48セッション 創成教育(VII))
- (124)北海道大学における「創成型科目」の学生評価(第33セッション 創成教育(IV))
- 全学初習・工学部専門教育における創成型教育の試み
- 全学初習教育および工学部専門教育における創成型教育の試み
- (88)北海道大学における創成科目への取り組み(第22セッション 創成教育(II))
- F134 ナトリウム燃焼で発生したエアロゾル雰囲気中での 3 次元透過解析
- 545 Na火災時のエアロゾル雰囲気中の1次元ふく射伝熱解析(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- 420 槽内の混合過程を考慮した成層型蓄熱槽の設計手法の検討
- 814 温度成層境界面における流体による掻き取り現象の研究(G.S.5 熱工学II)
- 609 成層型蓄熱槽の混合特性に与える物性値の影響について(OS3 対流伝熱の制御と促進)
- E132 半導体製造プロセスのための高沸点有機溶媒気化器に関する研究(熱物性III)
- 609 直交表による大域的最適解探索手法の開発 : 多峰性関数問題への適用(J02-2 解析・設計の高度化・最適化(2),J02 解析・設計の高度化・最適化)
- 2105 直交表による大域的最適解探索手法の開発タービン段落設計への適用(OS21 設計と最適化II)
- 水電解が可能な住宅用燃料電池のネットワーク化による部分負荷運転時の効率向上(G09 環境保全技術,G09 環境工学部門)
- 回生エネルギの再利用と部分負荷運転時の効率改善を水電解で行う燃料改質型燃料電池自動車の検討(動力エネルギー技術,動力エネルギーシステム部門)
- F107 固体高分子型燃料電池の親水性ガス拡散層内水分移動モデル化(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- G132 固体高分子形燃料電池疎水性ガス拡散層における水分透過モデル化(PEFC(水分))
- B112 固体高分子形燃料電池疎水性ガス拡散層における水分透過特性モデル化(分散エネルギーシステムにおける要素技術とその集積化1)
- C151 二層構造ガス拡散層の自己水分管理機能測定(OS-16 先端技術に関わる熱交換過程I)
- トムズ効果による抵抗低減流れの数値解析(オーガナイズドセッション8 伝熱促進)
- 平衡ダンベル要素モデルを用いた高分子溶液乱流抵抗低減流れの数値計算(S23-2 複雑流体の流れとその応用(2),S23 複雑流体の流れとその応用)
- トムズ効果による乱流抵抗低減メカニズムについて : 離散要素モデルに基づく考察(OS.13 溶液・分散系のマイクロ・ナノ構造と流れの相互作用)
- C244 ダンベル要素混入流れの温度場の数値計算
- 1003 微小要素を混入した乱流摩擦抵抗低減効果の数値シミュレーション
- F154 半導体処理用純水加熱用ふく射式高温サーキュレータの非灰色ふく射伝熱解析
- E133 電気化学的手法を用いた LNG タンク内伝熱流動モデル実験
- E121 水平加熱平板上強制・自然対流共存時の熱伝達測定とその可視化
- 2121 白金高効率利用のための固体高分子形燃料電池3相界面モデルに関する研究(J17-3 燃料電池(3) 固体高分子形燃料電池,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- F104 PEFC内気液流動および性能に及ぼすガス拡散層特性の影響(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- F101 PEFC数値解析のための検証実験と電気化学測定によるフラッディング現象解析(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- G232 LEC法GaAs結晶成長炉内の熱および気液流動シミュレーション(物質合成)
- 107 白金高効率利用のための固体高分子形燃料電池3相界面モデルに関する研究(熱工学(2))
- 108 格子ボルツマン法による燃料電池内凝縮水挙動シミュレーション(熱工学(2))
- 511 走行モードシミュレータのための簡易高速ディーゼル燃焼モデルに関する研究(エンジンシステム)
- 半導体Siウェーハの均一高速成膜法に関する研究(流体工学,流体機械)
- OS5-4 PEFC内気液流動特性とその電流密度分布および電池性能に及ぼす影響(OS5 水素・燃料電池,循環型社会における動力エネルギー技術)
- F135 三次元灰色ふく射伝熱解析用最適等価吸収係数分布の推定法の開発
- 544 三次元灰色ふく射伝熱解析用最適等価吸収係数分布の推定法(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- 火炎内の渦構造の特徴とその可視化法
- ディーゼル燃焼の相似性に関する三次元数値シミュレーションによる検討
- 三次元非灰色放射伝熱解析の並列化
- F153 研究室規模の実験炉から実機ボイラまで適用可能な微粉炭燃焼モデル
- 積層型減圧CVD装置におけるシリコン半導体成膜希薄ガス流動の可視化および数値シミュレーション(熱工学,内燃機関,動力など)
- 炭酸ガス収支に及ぼすシベリア森林火災影響の評価モデリング
- 312 ディーゼル噴霧中の微視的拡散混合挙動の可視化解析
- 423 炭酸ガス収支に及ぼすシベリア森林火災影響の評価モデリング(OS25 エネルギー問題におけるシミュレーション)(OS25 エネルギー問題におけるシミュレーション)
- 自然給気型燃料電池のカソードセパレータ構造に対する性能特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 806 パッチ型LPCVD装置を用いたシリコンウエハ薄膜形成に関する影響因子解析(G06-2 熱物性・加工,G06 熱工学)
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果および経済性に関する研究 : 建物種別,地域,および冷房機器による比較(熱工学,内燃機関,動力など)
- 自然給気型燃料電池の電池性能に対する影響因子(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
- 1930 不燃性気体先立ち噴射による非定常噴流火炎の NOx 低減効果
- 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
- 薄いマイクロチャンネルセパレータを有するPEFCの性能に関する研究 : 凝縮水の生成と電池性能への影響
- 薄いマイクロチャンネル型セパレータを有するPEFCの性能に関する研究 : 凝縮水の生成と電池性能への影響(熱工学,内燃機関,動力など)
- ものづくりと伝熱
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果と経済性に関するマッピング
- 消費者の車両選好特性モデルに基づく将来型自動車の普及分析(熱工学,内燃機関,動力など)
- 非定常噴流拡散火炎先端部における高濃度NO_x生成特性と低減手法(熱工学,内燃機関,動力など)
- E242 炭酸ガス削減効果を最大にするためのコジェネレーションシステム条件解析 : 建物種別, 機器構成, 系統連系, 運転法
- F155 半導体ウエハ昇温時のふく射遮蔽による面内温度分布の平坦化効果
- F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
- F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析
- 546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- E110 熱処理炉によるシリコンウエハ昇温特性に及ぼすウエハ表面性状の影響(新技術フォーラム-7 : 資源環境及び環境親和型熱・エネルギーシステムのインテリジェント化)
- K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)
- 607 固体高分子型燃料電池駆動システムの検討(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 411 自動車用固体高分子型燃料電池の起動・応答シミュレーション(環境負荷低減のためのエネルギー変換技術I)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 523 ウエハプロセスにおけるシリコンウエハの過渡的な温度変化特性と数値シミュレーション(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- 3619 氷点下起動時における固体高分子形燃料電池内凍結現象に関する研究(G08-1 燃料電池,G08 動力エネルギーシステム)
- 522 LNGタンク底部での強制対流・水平層自然対流共存伝熱のモデル実験(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- F102 異方性ガス拡散層を持つPEFCの性能および凝縮水分布解析(OS5 水素・燃料電池)
- 509 燃料電池セパレータ内液滴挙動のLBM数値シミュレーション(熱工学(2))
- ディーゼル燃焼におけるNO_x生成におよぼす局所拡散構造とエミッション低減法に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- G121 自然給気無加湿燃料電池のドライアウト条件(一般セッション 燃料電池II)
- 3618 固体高分子形燃料電池内現象の可視化と電流密度分布の同時計測(G08-1 燃料電池,G08 動力エネルギーシステム)
- 305 球状液滴内表面張力対流のスペクトル法による数値解析
- A152 エントロピー法によるエンジン内噴霧の局所拡散構造解析
- 606 メタノール水蒸気改質型燃料電池コジェネレーションシステムの出力特性の検討(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 各種薄膜付きシリコンウエハの温度変化による放射熱物性計測に関する検討(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
- ディーゼル燃焼の相似性に関する理論予測と実験値との比較 (小特集エンジンシステム)
- E221 トムズ効果の乱流摩擦抵抗の低減機構について(E-22 乱流現象の制御,一般講演)
- 固体高分子形燃料電池内の凝縮水生成・温度および電流密度分布の同時計測(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- E231 凝縮水等により変動する固体高分子型燃料電池内の時系列温度分布計測
- DDM法を用いたディーゼル噴霧シミュレーションの計算特性解析
- 521 吹出・吸込による制御下にある壁面乱流温度場の構造(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- コジェネレーションシステム評価における需要変動の影響解析
- 605 コジェネレーションシステム評価における需要変動影響に関する研究(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- Necessary Grid Size Conditions for Accurate Diffusion and Convection Calculations with KIVA-II
- 相似模型実験によるディーゼル機関の燃焼およびNO生成の予測法に関する研究
- D-10 高温多湿空気中におけるフィン付熱交換器の特性