546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
To estimate the effects of the characteristics of the insulating cap on the length of flat zone in which the wafers are uniform in temperature distribution with each other, the transient radiative heat transfer analyses based on gray assumption were applied to typical heating process. The result shows that the length of the lower non-flat zone is depends on characteristics of insulating cap..
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-27
著者
関連論文
- W12-(1) 創成教育とプロジェクト課題
- 機構創出とものづくり教育のための創成型教育 (特集欄 創造設計へのアプローチ)
- (182)北海道大学機械工学科における創成科目の試み : 機構考案製作コンテストの実施と成果(第48セッション 創成教育(VII))
- E231 潜熱蓄熱エマルジョンスラリーの冷却特性測定
- 創成教育の全学展開(設計工学からみた創成教育の課題と実践III,W12 設計工学・システム部門企画)
- 154 北海道大学における「創成科目」の実施状況 : 三年間の歩み(創成教育IV,第39セッション)
- (183)北海道大学の全学初習教育における「創成科目」の実施について(第48セッション 創成教育(VII))
- (124)北海道大学における「創成型科目」の学生評価(第33セッション 創成教育(IV))
- 全学初習・工学部専門教育における創成型教育の試み
- 全学初習教育および工学部専門教育における創成型教育の試み
- (88)北海道大学における創成科目への取り組み(第22セッション 創成教育(II))
- F134 ナトリウム燃焼で発生したエアロゾル雰囲気中での 3 次元透過解析
- 545 Na火災時のエアロゾル雰囲気中の1次元ふく射伝熱解析(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- 420 槽内の混合過程を考慮した成層型蓄熱槽の設計手法の検討
- 814 温度成層境界面における流体による掻き取り現象の研究(G.S.5 熱工学II)
- 609 成層型蓄熱槽の混合特性に与える物性値の影響について(OS3 対流伝熱の制御と促進)
- 609 直交表による大域的最適解探索手法の開発 : 多峰性関数問題への適用(J02-2 解析・設計の高度化・最適化(2),J02 解析・設計の高度化・最適化)
- 2105 直交表による大域的最適解探索手法の開発タービン段落設計への適用(OS21 設計と最適化II)
- 水電解が可能な住宅用燃料電池のネットワーク化による部分負荷運転時の効率向上(G09 環境保全技術,G09 環境工学部門)
- 回生エネルギの再利用と部分負荷運転時の効率改善を水電解で行う燃料改質型燃料電池自動車の検討(動力エネルギー技術,動力エネルギーシステム部門)
- F107 固体高分子型燃料電池の親水性ガス拡散層内水分移動モデル化(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- G132 固体高分子形燃料電池疎水性ガス拡散層における水分透過モデル化(PEFC(水分))
- B112 固体高分子形燃料電池疎水性ガス拡散層における水分透過特性モデル化(分散エネルギーシステムにおける要素技術とその集積化1)
- C151 二層構造ガス拡散層の自己水分管理機能測定(OS-16 先端技術に関わる熱交換過程I)
- トムズ効果による抵抗低減流れの数値解析(オーガナイズドセッション8 伝熱促進)
- 平衡ダンベル要素モデルを用いた高分子溶液乱流抵抗低減流れの数値計算(S23-2 複雑流体の流れとその応用(2),S23 複雑流体の流れとその応用)
- トムズ効果による乱流抵抗低減メカニズムについて : 離散要素モデルに基づく考察(OS.13 溶液・分散系のマイクロ・ナノ構造と流れの相互作用)
- C244 ダンベル要素混入流れの温度場の数値計算
- 1003 微小要素を混入した乱流摩擦抵抗低減効果の数値シミュレーション
- F154 半導体処理用純水加熱用ふく射式高温サーキュレータの非灰色ふく射伝熱解析
- E133 電気化学的手法を用いた LNG タンク内伝熱流動モデル実験
- E121 水平加熱平板上強制・自然対流共存時の熱伝達測定とその可視化
- 半導体Siウェーハの均一高速成膜法に関する研究(流体工学,流体機械)
- F135 三次元灰色ふく射伝熱解析用最適等価吸収係数分布の推定法の開発
- 544 三次元灰色ふく射伝熱解析用最適等価吸収係数分布の推定法(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- F153 研究室規模の実験炉から実機ボイラまで適用可能な微粉炭燃焼モデル
- 積層型減圧CVD装置におけるシリコン半導体成膜希薄ガス流動の可視化および数値シミュレーション(熱工学,内燃機関,動力など)
- 炭酸ガス収支に及ぼすシベリア森林火災影響の評価モデリング
- 312 ディーゼル噴霧中の微視的拡散混合挙動の可視化解析
- 423 炭酸ガス収支に及ぼすシベリア森林火災影響の評価モデリング(OS25 エネルギー問題におけるシミュレーション)(OS25 エネルギー問題におけるシミュレーション)
- 自然給気型燃料電池のカソードセパレータ構造に対する性能特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 806 パッチ型LPCVD装置を用いたシリコンウエハ薄膜形成に関する影響因子解析(G06-2 熱物性・加工,G06 熱工学)
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果および経済性に関する研究 : 建物種別,地域,および冷房機器による比較(熱工学,内燃機関,動力など)
- 自然給気型燃料電池の電池性能に対する影響因子(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
- 1930 不燃性気体先立ち噴射による非定常噴流火炎の NOx 低減効果
- 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
- 薄いマイクロチャンネルセパレータを有するPEFCの性能に関する研究 : 凝縮水の生成と電池性能への影響
- 薄いマイクロチャンネル型セパレータを有するPEFCの性能に関する研究 : 凝縮水の生成と電池性能への影響(熱工学,内燃機関,動力など)
- ものづくりと伝熱
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果と経済性に関するマッピング
- 消費者の車両選好特性モデルに基づく将来型自動車の普及分析(熱工学,内燃機関,動力など)
- 非定常噴流拡散火炎先端部における高濃度NO_x生成特性と低減手法(熱工学,内燃機関,動力など)
- E242 炭酸ガス削減効果を最大にするためのコジェネレーションシステム条件解析 : 建物種別, 機器構成, 系統連系, 運転法
- F155 半導体ウエハ昇温時のふく射遮蔽による面内温度分布の平坦化効果
- F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
- F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析
- 546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- E110 熱処理炉によるシリコンウエハ昇温特性に及ぼすウエハ表面性状の影響(新技術フォーラム-7 : 資源環境及び環境親和型熱・エネルギーシステムのインテリジェント化)
- K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)
- 607 固体高分子型燃料電池駆動システムの検討(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 411 自動車用固体高分子型燃料電池の起動・応答シミュレーション(環境負荷低減のためのエネルギー変換技術I)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 523 ウエハプロセスにおけるシリコンウエハの過渡的な温度変化特性と数値シミュレーション(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- D115 非定常性に起因した間欠噴流拡散火炎中の高 NOx 生成メカニズムと低減法
- K-1925 非定常噴流拡散火炎の成長過程におけるNOx生成量変化(S24-4 噴霧・噴流と燃焼)(S24 燃料噴霧,ガス流動,混合気形成過程)
- 522 LNGタンク底部での強制対流・水平層自然対流共存伝熱のモデル実験(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- 628 非定常噴流火炎長さとNO量に関する数値シミュレーション(OS5-6 環境負荷とエンジン・燃焼システム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 501 化学反応を伴う非定常噴流内の拡散・反応構造の可視化観察(エンジンシステム・燃焼)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 305 球状液滴内表面張力対流のスペクトル法による数値解析
- 燃料電池自動車のシステム評価と走行特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 2508 燃料電池自動車の運転特性シミュレーション
- 606 メタノール水蒸気改質型燃料電池コジェネレーションシステムの出力特性の検討(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 各種薄膜付きシリコンウエハの温度変化による放射熱物性計測に関する検討(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
- 将来型自動車普及分析のための消費者の車両選考モデルに関する研究
- 608 自動車に対する国内の消費者選考特性分析(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 地域熱電併給の最適ネットワーク領域探索手法と解析結果の一例
- E221 トムズ効果の乱流摩擦抵抗の低減機構について(E-22 乱流現象の制御,一般講演)
- エントロピー法によるディーゼル噴霧内の拡散構造解析(熱工学,内燃機関,動力など)
- 2202 燃料蒸気塊の拡散現象に支配的な渦関連物理量に関する研究
- 畜熱を有するコージェネレーションシステムの炭酸ガス削減効果と経済性
- 502 噴流衝突を受ける噴霧火炎挙動に関する研究(エンジンシステム・燃焼)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 高速二段ディーゼル燃焼法による黒煙とNO_xの同時低減に関する研究 : (燃焼室形状操作, EGRおよび吸気予混合の併用)
- (7)拡散混合過程における不均一性の定量解析法
- C108 エントロピー法による衝突噴霧内の拡散構造解析(オーガナイズドセッション16 : 新世代エンジンのための燃焼改善と排気低減技術)
- K-1911 ディーゼル噴霧における燃料拡散の微細構造と流動分布(S24-1 ガス流動,噴霧と混合気形成)(S24 燃料噴霧,ガス流動,混合気形成過程)
- 拡散混合過程における不均一性の定量解析法 : 熱工学,内燃機関,動力など
- DDM法を用いたディーゼル噴霧シミュレーションの計算特性解析
- P14-09 オートサーマル型メタノール改質器における CO 低減
- K-2113 PEFC用メタノール改質システムの運転特性及び解析(G08-1 動力エネルギー(1))(G08 動力エネルギーシステム部門一般講演)
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果および経済性に関する研究 (冷房機器および地域別・建物別負荷パターンの影響
- 将来型自動車の普及予測と炭酸ガス削減のためのシナリオ解析
- 521 吹出・吸込による制御下にある壁面乱流温度場の構造(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- P14-10 PEFC 用マイクロチャンネル型薄型セパレータの特性 : 凝縮水の生成と電池性能への影響
- 410 低温環境下における燃料電池の起動特性(環境負荷低減のためのエネルギー変換技術I)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 316 消費者の車両選考モデルに基づく将来型自動車の普及条件解析
- 1011 分散エネルギーシステムの普及シナリオと評価
- 燃料電池 : エネルギーと環境の視点から
- シベリアの炭酸ガス収支に及ぼす森林火災の影響評価モデルと基礎データ
- コジェネレーションシステム評価における需要変動の影響解析
- D-10 高温多湿空気中におけるフィン付熱交換器の特性