宮田 敏光 | 日立国際電気
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概要
関連著者
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菱沼 孝夫
E&e研究所
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菱沼 孝夫
北大工
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宮田 敏光
日立国際電気
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菱沼 孝夫
北海道大学
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菊田 和重
北大
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近久 武美
北大工
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菊田 和重
北大工
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菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
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近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
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佐々木 隆史
北大院
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山口 天和
日立国際電気
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工藤 一彦
北大工
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大野 健治
日立国際電気
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持田 あけの
北大工
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斎藤 直子
北海道大学大学院工学研究科
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工藤 一彦
北海道大学大学院工学研究科
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池田 純一
北大工
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斎藤 直子
北大工
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石川 温士
北大院
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斎藤 直子
北大院
著作論文
- 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
- 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
- F155 半導体ウエハ昇温時のふく射遮蔽による面内温度分布の平坦化効果
- F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
- F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析
- 546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- E110 熱処理炉によるシリコンウエハ昇温特性に及ぼすウエハ表面性状の影響(新技術フォーラム-7 : 資源環境及び環境親和型熱・エネルギーシステムのインテリジェント化)
- K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)