山口 天和 | 日立国際電気

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概要

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• 同名の論文著者
• 日立国際電気の論文著者

関連著者

• 菊田 和重

  北大

• 近久 武美

  北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻

• 菱沼 孝夫

  E&e研究所

• 近久 武美

  北大工

• 菊田 和重

  北大工

• 菊田 和重

  長岡技術科学大学大学院

• 菱沼 孝夫

  北大工

• 宮田 敏光

  日立国際電気

• 山口 天和

  日立国際電気

• 菱沼 孝夫

  北海道大学

• 佐々木 隆史

  北大院

• 斎藤 直子

  北海道大学大学院工学研究科

• 斎藤 直子

  北大工

• 石川 温士

  北大院

• 斎藤 直子

  北大院

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著作論文

• 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
• 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
• F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
• F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析

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