1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
There is seldom the data on the radiative property of semiconductor wafers. It is importance to know radiative properties of the wafter with a thin film for the accurate measurement of wafter temperature using the radiative thermometer and the estimation of the film thickness at in-situ. We measured the spectral normal emissivity of silicon wafters with various films without changing the condition of a thin film at 600℃ and 900℃. The result showed that radiation characteristics greatly differ by film kind and film thickness. It seems to be able to the estimation of the film thickness in the process by measuring the infrared spectrum at in-situ using this property.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
-
菊田 和重
北大
-
近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
-
菱沼 孝夫
E&e研究所
-
近久 武美
北大工
-
菊田 和重
北大工
-
菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
-
佐々木 隆史
北大院
-
菱沼 孝夫
北大工
-
宮田 敏光
日立国際電気
-
山口 天和
日立国際電気
-
石川 温士
北大院
-
菱沼 孝夫
北海道大学
関連論文
- 高沸点有機溶媒用気化器内の流動挙動に関する可視化観察
- 2302 ディーゼル機関内混合制御によるNOx低減のための効果解析(S25 エンジンの排気浄化・後処理,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- E132 半導体製造プロセスのための高沸点有機溶媒気化器に関する研究(熱物性III)
- C151 二層構造ガス拡散層の自己水分管理機能測定(OS-16 先端技術に関わる熱交換過程I)
- J0601-3-1 高密度比格子ボルツマン法によるPEM燃料電池多孔質体内の気液流動シミュレーション(PEFC内の凝縮水挙動)
- 固体高分子形燃料電池内の凝縮水生成過程の可視化観察
- 2121 白金高効率利用のための固体高分子形燃料電池3相界面モデルに関する研究(J17-3 燃料電池(3) 固体高分子形燃料電池,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- F105 固体高分子形燃料電池における多孔質ガス流路の検討(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- F104 PEFC内気液流動および性能に及ぼすガス拡散層特性の影響(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- F101 PEFC数値解析のための検証実験と電気化学測定によるフラッディング現象解析(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- 消費者の車両選好モデルに基づいた日本および中国の将来自動車構成とCO_2排出量解析
- G211 将来型コジェネレーション・ヒートポンプシステムの炭酸ガス排出量解析(空調)
- G232 LEC法GaAs結晶成長炉内の熱および気液流動シミュレーション(物質合成)
- 107 白金高効率利用のための固体高分子形燃料電池3相界面モデルに関する研究(熱工学(2))
- 108 格子ボルツマン法による燃料電池内凝縮水挙動シミュレーション(熱工学(2))
- 511 走行モードシミュレータのための簡易高速ディーゼル燃焼モデルに関する研究(エンジンシステム)
- 513 シベリア森林火災モデルを用いた将来の炭酸ガス収支予測と制御法評価(環境工学)
- 半導体Siウェーハの均一高速成膜法に関する研究(流体工学,流体機械)
- OS5-4 PEFC内気液流動特性とその電流密度分布および電池性能に及ぼす影響(OS5 水素・燃料電池,循環型社会における動力エネルギー技術)
- シベリア森林火災モデルを用いた将来の炭酸ガス収支予測と制御法評価
- B141 発電所効率に対する民生用分散電源の有効性解析(分散エネルギーシステムにおける要素技術とその集積化4)
- 515 シベリア森林火災モデルの検証と将来の火災増加が炭酸ガス収支に及ぼす影響(環境工学)
- 火炎内の渦構造の特徴とその可視化法
- ディーゼル燃焼の相似性に関する三次元数値シミュレーションによる検討
- 511 MARKALモデルを用いた日本の住宅用エネルギー機器の長期構成変化解析(熱工学II)
- 積層型減圧CVD装置におけるシリコン半導体成膜希薄ガス流動の可視化および数値シミュレーション(熱工学,内燃機関,動力など)
- 514 PEFCにおける複雑繊維構造内液滴挙動のLBMシミュレーション(熱工学II)
- 513 PEFC電圧特性に及ぼす触媒層構造因子の主幹影響評価(熱工学II)
- 512 PEFC用三次元数値シミュレーションコードの実験比較評価(熱工学II)
- D206 日本のエネルギー構成に関する長期CO_2排出シナリオ解析(OS12 温暖化対策とCO2削減技術)
- 4406 コジェネレーションの住宅戸別設置における需要変動影響とその改善システム(J11-1 コージェネ,マイクログリッド,J11 小型・分散エネルギー技術)
- 4710 実機を用いた混合拡散制御によるディーゼルNO_x低減実験(S56-2 エンジン燃焼-さらなる進化を目指して-(2),S56 エンジン燃焼-さらなる進化を目指して-)
- コジェネレーションシステムの炭酸ガス削減効果と経済性評価のためのマッピング手法(熱工学,内燃機関,動力など)
- 配電系統の電力制約を考慮した分散協調型コジェネレーションネットワークの炭酸ガス削減効果と系統負荷平準化効果
- 411 混合拡散制御によるディーゼル噴霧火炎のNOx低減に関する研究(エンジンシステム(2))
- 436 コジェネレーションシステムの炭酸ガス・コスト削減効果のマッピング手法(エネルギーマネジメントおよびCGS I,環境保全型エネルギー技術)
- 炭酸ガス収支に及ぼすシベリア森林火災影響の評価モデリング
- 312 ディーゼル噴霧中の微視的拡散混合挙動の可視化解析
- 423 炭酸ガス収支に及ぼすシベリア森林火災影響の評価モデリング(OS25 エネルギー問題におけるシミュレーション)(OS25 エネルギー問題におけるシミュレーション)
- 自然給気型燃料電池のカソードセパレータ構造に対する性能特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 806 パッチ型LPCVD装置を用いたシリコンウエハ薄膜形成に関する影響因子解析(G06-2 熱物性・加工,G06 熱工学)
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果および経済性に関する研究 : 建物種別,地域,および冷房機器による比較(熱工学,内燃機関,動力など)
- 自然給気型燃料電池の電池性能に対する影響因子(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
- 1930 不燃性気体先立ち噴射による非定常噴流火炎の NOx 低減効果
- 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
- 薄いマイクロチャンネルセパレータを有するPEFCの性能に関する研究 : 凝縮水の生成と電池性能への影響
- 薄いマイクロチャンネル型セパレータを有するPEFCの性能に関する研究 : 凝縮水の生成と電池性能への影響(熱工学,内燃機関,動力など)
- ものづくりと伝熱
- コジェネレーションの炭酸ガス削減効果と経済性に関するマッピング
- 消費者の車両選好特性モデルに基づく将来型自動車の普及分析(熱工学,内燃機関,動力など)
- 非定常噴流拡散火炎先端部における高濃度NO_x生成特性と低減手法(熱工学,内燃機関,動力など)
- E242 炭酸ガス削減効果を最大にするためのコジェネレーションシステム条件解析 : 建物種別, 機器構成, 系統連系, 運転法
- F155 半導体ウエハ昇温時のふく射遮蔽による面内温度分布の平坦化効果
- F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
- F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析
- 546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- E110 熱処理炉によるシリコンウエハ昇温特性に及ぼすウエハ表面性状の影響(新技術フォーラム-7 : 資源環境及び環境親和型熱・エネルギーシステムのインテリジェント化)
- K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)
- 607 固体高分子型燃料電池駆動システムの検討(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- 411 自動車用固体高分子型燃料電池の起動・応答シミュレーション(環境負荷低減のためのエネルギー変換技術I)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 523 ウエハプロセスにおけるシリコンウエハの過渡的な温度変化特性と数値シミュレーション(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- D115 非定常性に起因した間欠噴流拡散火炎中の高 NOx 生成メカニズムと低減法
- K-1925 非定常噴流拡散火炎の成長過程におけるNOx生成量変化(S24-4 噴霧・噴流と燃焼)(S24 燃料噴霧,ガス流動,混合気形成過程)
- 3619 氷点下起動時における固体高分子形燃料電池内凍結現象に関する研究(G08-1 燃料電池,G08 動力エネルギーシステム)
- F102 異方性ガス拡散層を持つPEFCの性能および凝縮水分布解析(OS5 水素・燃料電池)
- 509 燃料電池セパレータ内液滴挙動のLBM数値シミュレーション(熱工学(2))
- ディーゼル燃焼におけるNO_x生成におよぼす局所拡散構造とエミッション低減法に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- G121 自然給気無加湿燃料電池のドライアウト条件(一般セッション 燃料電池II)
- 3618 固体高分子形燃料電池内現象の可視化と電流密度分布の同時計測(G08-1 燃料電池,G08 動力エネルギーシステム)
- 第47回日本伝熱シンポジウムの報告
- ディーゼル噴霧火炎先端部の混合拡散制御によるNOx低減(J16-2,J16 工学的応用に向けた複雑系の能動制御)
- 628 非定常噴流火炎長さとNO量に関する数値シミュレーション(OS5-6 環境負荷とエンジン・燃焼システム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- シベリア森林火災モデルの検証と、炭酸ガス収支に対する火災増加の将来影響評価
- 327 シベリア森林火災のモデリングと将来の炭酸ガス収支に対する火災影響(環境数値シミュレーション,大気・水保全技術)
- A152 エントロピー法によるエンジン内噴霧の局所拡散構造解析
- 各種薄膜付きシリコンウエハの温度変化による放射熱物性計測に関する検討(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
- ディーゼル燃焼の相似性に関する理論予測と実験値との比較 (小特集エンジンシステム)
- 配電系電力制約を考慮したコジェネレーションネットワークの炭酸ガス削減効果解析(動力エネルギー技術,動力エネルギーシステム部門)
- E225 分散協調コジェネレーションネットワーク構想と環境負荷低減ポテンシャル
- 固体高分子形燃料電池内の凝縮水生成・温度および電流密度分布の同時計測(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- E231 凝縮水等により変動する固体高分子型燃料電池内の時系列温度分布計測
- 307 多孔体セパレータを有するPEFC内部現象の数値解析(OS3. ナノ・マイクロ熱流動現象(2),オーガナイズドセッション講演)
- 306 格子ボルツマン法によるPEFC内におけるガス拡散層内気液二相流動シミュレーション(OS3. ナノ・マイクロ熱流動現象(2),オーガナイズドセッション講演)
- J0802-1-5 多孔体を用いたPEM形電気分解セルによる水素生成効率向上に関する研究([J0802-1]PEFC)
- DDM法を用いたディーゼル噴霧シミュレーションの計算特性解析
- コジェネレーションシステム評価における需要変動の影響解析
- 605 コジェネレーションシステム評価における需要変動影響に関する研究(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- Necessary Grid Size Conditions for Accurate Diffusion and Convection Calculations with KIVA-II
- D203 多孔体セパレータを有する固体高分子形燃料電池の性能特性に関する研究(OS4 水素・燃料電池),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 111 PEFC内の凝縮水移動現象におよぼすMPLの影響(熱工学II)
- 307 多孔体セパレータを有する固体高分子形燃料電池の性能特性に関する研究(熱工学I)
- 112 GaAs単結晶成長に及ぼす融液流動および温度分布の影響(熱工学II)
- 416 小型ディーゼル機関用高速簡易燃焼モデルに関する研究(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- 415 ディーゼル機関内におけるNOx生成に及ぼす乱れ影響に関する実験研究(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- 414 氷点下起動時におけるPEFC内凍結現象に関する研究(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- D204 固体高分子形燃料電池の氷点下起動影響と電池内凍結現象の観察(OS4 水素・燃料電池),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 相似模型実験によるディーゼル機関の燃焼およびNO生成の予測法に関する研究
- 413 自然給気型燃料電池における電解質膜水分特性変化と水管理(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- 113 北海道における最適エネルギー構成解析のためのMARKALモデル用データベースの構築(熱工学II)