佐々木 隆史 | 北大院
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概要
関連著者
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菊田 和重
北大
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菱沼 孝夫
E&e研究所
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近久 武美
北大工
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菊田 和重
北大工
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菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
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佐々木 隆史
北大院
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菱沼 孝夫
北海道大学
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菱沼 孝夫
北大工
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近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
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宮田 敏光
日立国際電気
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山口 天和
日立国際電気
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斎藤 直子
北海道大学大学院工学研究科
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工藤 一彦
北大工
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持田 明野
北大工
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大野 健治
日立国際電気
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池田 純一
北大工
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木谷 拓司
北大院
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斎藤 直子
北大工
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石川 温士
北大院
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菱沼 考夫
E&E研究所
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本郷 英久
日立国際電気
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西堂 周平
日立国際電気
著作論文
- 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
- 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
- F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
- K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)
- 523 ウエハプロセスにおけるシリコンウエハの過渡的な温度変化特性と数値シミュレーション(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- 各種薄膜付きシリコンウエハの温度変化による放射熱物性計測に関する検討(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)