各種薄膜付きシリコンウエハの温度変化による放射熱物性計測に関する検討(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
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概要
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There is seldom the radiative prop erty of semiconductor wafers. It is important to know radiative properties of the wafer with a thin film for the accurate measurement of wafer temperature using the radiative thermometer and the estimation of the film thickness at in -situ. We measured the spectral normal emissivity of silicon wafers with various films without changing the condition of a thin film at 600℃ and 900℃. The result showed that radiation characteristics greatly differ by film kind and film thickness. It seems to be able to the estimation of the film thickness in the process by measuring the infrared spectrum at in-situ using this property.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-10
著者
-
菊田 和重
北大
-
近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
-
菱沼 孝夫
E&e研究所
-
近久 武美
北大工
-
菊田 和重
北大工
-
菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
-
木谷 拓司
北大院
-
佐々木 隆史
北大院
-
菱沼 孝夫
北海道大学
-
菱沼 考夫
E&E研究所
-
本郷 英久
日立国際電気
-
西堂 周平
日立国際電気
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