E132 半導体製造プロセスのための高沸点有機溶媒気化器に関する研究(熱物性III)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The phenomenon in the vaporizer for low volatile organic solvent is analyzed and the performances of the two types of vaporizer are evaluated. The numerical simulation shows that the vaporizer using a two-fluid nozzle cannot fully utilize the tube space because of the strong penetration characteristic and the low adjusting capability of the flow pattern. The vaporizer with ultrasonic nozzle and gas inlets is presented to avoid the disadvantages above. It is demonstrated that the ultrasonic nozzle type can achieve more than 6 times particle residence time as compared with the two-fluid nozzle type and it can be applied for the evaporator of the low volatile organic solvents.
- 2009-11-06
著者
-
菊田 和重
北大
-
田部 豊
北大
-
近久 武美
北大
-
近久 武美
北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻
-
宮田 典亜
北大院
-
菊田 和重
苫小牧高専
-
田部 豊
北大工
-
田部 豊
北海道大学
-
菊田 和重
長岡技術科学大学大学院
-
田部 豊
東京工業大学大学院
関連論文
- 高沸点有機溶媒用気化器内の流動挙動に関する可視化観察
- 2302 ディーゼル機関内混合制御によるNOx低減のための効果解析(S25 エンジンの排気浄化・後処理,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- PEFC内の流動・物質移動の数値シミュレーション (特集 PEFCの特性予測・観測・評価)
- 固体高分子形燃料電池における流動・物質移動シミュレーション (特集 化学技術者のためのコンピュータソフト)
- E132 半導体製造プロセスのための高沸点有機溶媒気化器に関する研究(熱物性III)
- C151 二層構造ガス拡散層の自己水分管理機能測定(OS-16 先端技術に関わる熱交換過程I)
- J0601-3-1 高密度比格子ボルツマン法によるPEM燃料電池多孔質体内の気液流動シミュレーション(PEFC内の凝縮水挙動)
- 固体高分子形燃料電池内の凝縮水生成過程の可視化観察
- 2121 白金高効率利用のための固体高分子形燃料電池3相界面モデルに関する研究(J17-3 燃料電池(3) 固体高分子形燃料電池,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- F105 固体高分子形燃料電池における多孔質ガス流路の検討(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- F104 PEFC内気液流動および性能に及ぼすガス拡散層特性の影響(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- F101 PEFC数値解析のための検証実験と電気化学測定によるフラッディング現象解析(OS-5 水素・燃料電池(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- 消費者の車両選好モデルに基づいた日本および中国の将来自動車構成とCO_2排出量解析
- G211 将来型コジェネレーション・ヒートポンプシステムの炭酸ガス排出量解析(空調)
- G232 LEC法GaAs結晶成長炉内の熱および気液流動シミュレーション(物質合成)
- 107 白金高効率利用のための固体高分子形燃料電池3相界面モデルに関する研究(熱工学(2))
- 108 格子ボルツマン法による燃料電池内凝縮水挙動シミュレーション(熱工学(2))
- 511 走行モードシミュレータのための簡易高速ディーゼル燃焼モデルに関する研究(エンジンシステム)
- 513 シベリア森林火災モデルを用いた将来の炭酸ガス収支予測と制御法評価(環境工学)
- 半導体Siウェーハの均一高速成膜法に関する研究(流体工学,流体機械)
- OS5-4 PEFC内気液流動特性とその電流密度分布および電池性能に及ぼす影響(OS5 水素・燃料電池,循環型社会における動力エネルギー技術)
- シベリア森林火災モデルを用いた将来の炭酸ガス収支予測と制御法評価
- B141 発電所効率に対する民生用分散電源の有効性解析(分散エネルギーシステムにおける要素技術とその集積化4)
- 515 シベリア森林火災モデルの検証と将来の火災増加が炭酸ガス収支に及ぼす影響(環境工学)
- 火炎内の渦構造の特徴とその可視化法
- ディーゼル燃焼の相似性に関する三次元数値シミュレーションによる検討
- 511 MARKALモデルを用いた日本の住宅用エネルギー機器の長期構成変化解析(熱工学II)
- 積層型減圧CVD装置におけるシリコン半導体成膜希薄ガス流動の可視化および数値シミュレーション(熱工学,内燃機関,動力など)
- 514 PEFCにおける複雑繊維構造内液滴挙動のLBMシミュレーション(熱工学II)
- 513 PEFC電圧特性に及ぼす触媒層構造因子の主幹影響評価(熱工学II)
- 512 PEFC用三次元数値シミュレーションコードの実験比較評価(熱工学II)
- D206 日本のエネルギー構成に関する長期CO_2排出シナリオ解析(OS12 温暖化対策とCO2削減技術)
- 4406 コジェネレーションの住宅戸別設置における需要変動影響とその改善システム(J11-1 コージェネ,マイクログリッド,J11 小型・分散エネルギー技術)
- 4710 実機を用いた混合拡散制御によるディーゼルNO_x低減実験(S56-2 エンジン燃焼-さらなる進化を目指して-(2),S56 エンジン燃焼-さらなる進化を目指して-)
- コジェネレーションシステムの炭酸ガス削減効果と経済性評価のためのマッピング手法(熱工学,内燃機関,動力など)
- 411 混合拡散制御によるディーゼル噴霧火炎のNOx低減に関する研究(エンジンシステム(2))
- 436 コジェネレーションシステムの炭酸ガス・コスト削減効果のマッピング手法(エネルギーマネジメントおよびCGS I,環境保全型エネルギー技術)
- 自然給気型燃料電池のカソードセパレータ構造に対する性能特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 806 パッチ型LPCVD装置を用いたシリコンウエハ薄膜形成に関する影響因子解析(G06-2 熱物性・加工,G06 熱工学)
- 自然給気型燃料電池の電池性能に対する影響因子(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
- 1930 不燃性気体先立ち噴射による非定常噴流火炎の NOx 低減効果
- 1805 各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測
- E242 炭酸ガス削減効果を最大にするためのコジェネレーションシステム条件解析 : 建物種別, 機器構成, 系統連系, 運転法
- F153 積層型加熱炉におけるシリコンウエハの温度変化特性および数値計算による検討
- F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析
- 水酸化物を蓄熱材とする深夜電力利用暖房機の性能評価
- K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)
- 411 自動車用固体高分子型燃料電池の起動・応答シミュレーション(環境負荷低減のためのエネルギー変換技術I)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 523 ウエハプロセスにおけるシリコンウエハの過渡的な温度変化特性と数値シミュレーション(熱工学III)(オーガナイズドセッション(d)北海道における宇宙活動)
- D115 非定常性に起因した間欠噴流拡散火炎中の高 NOx 生成メカニズムと低減法
- 3619 氷点下起動時における固体高分子形燃料電池内凍結現象に関する研究(G08-1 燃料電池,G08 動力エネルギーシステム)
- F102 異方性ガス拡散層を持つPEFCの性能および凝縮水分布解析(OS5 水素・燃料電池)
- 509 燃料電池セパレータ内液滴挙動のLBM数値シミュレーション(熱工学(2))
- ディーゼル燃焼におけるNO_x生成におよぼす局所拡散構造とエミッション低減法に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- G121 自然給気無加湿燃料電池のドライアウト条件(一般セッション 燃料電池II)
- 3618 固体高分子形燃料電池内現象の可視化と電流密度分布の同時計測(G08-1 燃料電池,G08 動力エネルギーシステム)
- 第47回日本伝熱シンポジウムの報告
- ディーゼル噴霧火炎先端部の混合拡散制御によるNOx低減(J16-2,J16 工学的応用に向けた複雑系の能動制御)
- 327 シベリア森林火災のモデリングと将来の炭酸ガス収支に対する火災影響(環境数値シミュレーション,大気・水保全技術)
- A152 エントロピー法によるエンジン内噴霧の局所拡散構造解析
- 各種薄膜付きシリコンウエハの温度変化による放射熱物性計測に関する検討(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
- ディーゼル燃焼の相似性に関する理論予測と実験値との比較 (小特集エンジンシステム)
- 2202 燃料蒸気塊の拡散現象に支配的な渦関連物理量に関する研究
- 配電系電力制約を考慮したコジェネレーションネットワークの炭酸ガス削減効果解析(動力エネルギー技術,動力エネルギーシステム部門)
- E225 分散協調コジェネレーションネットワーク構想と環境負荷低減ポテンシャル
- 502 噴流衝突を受ける噴霧火炎挙動に関する研究(エンジンシステム・燃焼)(オーガナイズドセッション(c)環境負荷低減のためのエネルギー変換技術)
- 固体高分子形燃料電池内の凝縮水生成・温度および電流密度分布の同時計測(マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術,マイクロ・小型分散・発電プラントにおける燃料電池最新技術)
- E231 凝縮水等により変動する固体高分子型燃料電池内の時系列温度分布計測
- J0802-1-1 EXPERIMENTAL AND NUMERICAL INVESTIGATION OF GAS FLOW IN POLYMER ELECTROLYTE FUEL CELL
- 307 多孔体セパレータを有するPEFC内部現象の数値解析(OS3. ナノ・マイクロ熱流動現象(2),オーガナイズドセッション講演)
- 306 格子ボルツマン法によるPEFC内におけるガス拡散層内気液二相流動シミュレーション(OS3. ナノ・マイクロ熱流動現象(2),オーガナイズドセッション講演)
- J0802-1-5 多孔体を用いたPEM形電気分解セルによる水素生成効率向上に関する研究([J0802-1]PEFC)
- C108 エントロピー法による衝突噴霧内の拡散構造解析(オーガナイズドセッション16 : 新世代エンジンのための燃焼改善と排気低減技術)
- DDM法を用いたディーゼル噴霧シミュレーションの計算特性解析
- P14-09 オートサーマル型メタノール改質器における CO 低減
- 1011 分散エネルギーシステムの普及シナリオと評価
- コジェネレーションシステム評価における需要変動の影響解析
- G113 分散エネルギーの構成と都市エネルギーの最適化(新技術フォーラム-5 : クリーンで快適な都市を作り出すための分散エネルギーの新展開)
- 605 コジェネレーションシステム評価における需要変動影響に関する研究(OS5-2 低環境負荷エネルギーシステム-2)(OS5 環境とエネルギー問題)
- Necessary Grid Size Conditions for Accurate Diffusion and Convection Calculations with KIVA-II
- D203 多孔体セパレータを有する固体高分子形燃料電池の性能特性に関する研究(OS4 水素・燃料電池),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 111 PEFC内の凝縮水移動現象におよぼすMPLの影響(熱工学II)
- 307 多孔体セパレータを有する固体高分子形燃料電池の性能特性に関する研究(熱工学I)
- 112 GaAs単結晶成長に及ぼす融液流動および温度分布の影響(熱工学II)
- 416 小型ディーゼル機関用高速簡易燃焼モデルに関する研究(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- 415 ディーゼル機関内におけるNOx生成に及ぼす乱れ影響に関する実験研究(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- 414 氷点下起動時におけるPEFC内凍結現象に関する研究(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- D204 固体高分子形燃料電池の氷点下起動影響と電池内凍結現象の観察(OS4 水素・燃料電池),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 相似模型実験によるディーゼル機関の燃焼およびNO生成の予測法に関する研究
- 413 自然給気型燃料電池における電解質膜水分特性変化と水管理(動力エネルギーシステム・エンジンシステム)
- 113 北海道における最適エネルギー構成解析のためのMARKALモデル用データベースの構築(熱工学II)
- D215 GaAs単結晶成長に及ぼす融液流動および温度分布の影響(OS-2:複合対流)
- 611 炭酸ガス排出量抑制と国内投資額拡大のための日本の将来エネルギーシステム構成解析(熱工学I)
- 606 混合促進ジェットによるディーゼルエンジンのNOx低減効果解析(エンジンシステム)
- 608 固体高分子形燃料電池に及ぼす触媒層構造の主要因子解析と実験評価(熱工学I)
- G114 デッドエンド式自然給気型燃料電池の両極における凝縮水影響(OS5 水素・燃料電池)
- 610 格子ボルツマン法を用いた固体高分子形燃料電池内の凝縮水挙動解析(熱工学I)
- G201 固体高分子形燃料電池内の凝縮水分布に及ぼすMPLの影響(OS5 水素・燃料電池)
- 609 消費者選好モデルを用いた環境低負荷型機器の普及シナリオ解析(熱工学I)