F155 半導体ウエハ昇温時のふく射遮蔽による面内温度分布の平坦化効果
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概要
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Considering the optical characteristics of silicone wafer, the transient radiative heat transfer analyses based on gray assumption were applied to rapid-heating process. The results show that regularity and transparency of wafer surface give a slight reduction in the wafer temperature distribution in one side.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-06
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