持田 あけの | 北大工
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概要
関連著者
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工藤 一彦
北大工
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持田 あけの
北大工
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工藤 一彦
北大
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工藤 一彦
北海道大学大学院工学研究科
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菱沼 孝夫
E&e研究所
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菱沼 孝夫
北大工
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宮田 敏光
日立国際電気
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菱沼 孝夫
北海道大学
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西堂 周平
北大院
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大野 健治
日立国際電気
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西堂 周平
北海道大学大学院
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岩佐 能孝
北大院
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橋本 建信
東京ガス
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岩佐 能孝
北海道大学大学院工学研究科
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黒田 明慈
北海道大学
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黒田 明慈
北大工
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尾川 智彦
北大院
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門谷 皖一
KOMATSU
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黒田 明慈
北大
著作論文
- F154 半導体処理用純水加熱用ふく射式高温サーキュレータの非灰色ふく射伝熱解析
- F135 三次元灰色ふく射伝熱解析用最適等価吸収係数分布の推定法の開発
- 544 三次元灰色ふく射伝熱解析用最適等価吸収係数分布の推定法(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- F155 半導体ウエハ昇温時のふく射遮蔽による面内温度分布の平坦化効果
- 546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
- E110 熱処理炉によるシリコンウエハ昇温特性に及ぼすウエハ表面性状の影響(新技術フォーラム-7 : 資源環境及び環境親和型熱・エネルギーシステムのインテリジェント化)