大野 健治 | 日立国際電気

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概要

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関連著者

• 大野 健治

  日立国際電気

• 菱沼 孝夫

  E&e研究所

• 菱沼 孝夫

  北大工

• 宮田 敏光

  日立国際電気

• 菱沼 孝夫

  北海道大学

• 工藤 一彦

  北大工

• 持田 あけの

  北大工

• 菊田 和重

  北大

• 池田 純一

  北大工

• 近久 武美

  北大工

• 菊田 和重

  北大工

• 菊田 和重

  長岡技術科学大学大学院

• 佐々木 隆史

  北大院

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著作論文

• 546 縦型半導体熱処理炉内のウエハ列均熱長におよぼすキャップ断熱特性の影響(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)(OS26 火炉内の伝熱・燃焼シミュレーション)
• E110 熱処理炉によるシリコンウエハ昇温特性に及ぼすウエハ表面性状の影響(新技術フォーラム-7 : 資源環境及び環境親和型熱・エネルギーシステムのインテリジェント化)
• K-1814 積層型加熱炉によるシリコンウエハの熱処理に関する基礎的検討(G06-4 熱工学(4) : 熱伝導)(G06 熱工学部門一般講演)

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