斎藤 直子 | 北海道大学大学院工学研究科

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概要

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• 同名の論文著者
• 北海道大学大学院工学研究科の論文著者

関連著者

• 菊田 和重

  北大

• 斎藤 直子

  北海道大学大学院工学研究科

• 近久 武美

  北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻

• 菱沼 孝夫

  E&e研究所

• 菊田 和重

  長岡技術科学大学大学院

• 菱沼 孝夫

  北海道大学

• 近久 武美

  北大工

• 菊田 和重

  北大工

• 菱沼 孝夫

  北大工

• 宮田 敏光

  日立国際電気

• 山口 天和

  日立国際電気

• 菊田 和重

  北海道大学

• 近久 武美

  北海道大学

• 盛満 和広

  (株)日立国際電気

• 菱沼 孝夫

  E&E研究所

• 盛満 和広

  日立国際電気

• 佐々木 隆史

  北海道大学大学院工学研究科

• 佐々木 隆史

  北大院

• 斎藤 直子

  北大工

• 斎藤 直子

  北大院

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著作論文

• 積層型減圧CVD装置におけるシリコン半導体成膜希薄ガス流動の可視化および数値シミュレーション(熱工学,内燃機関,動力など)
• 1427 シリコンウエハ薄膜形成における希薄ガス流動解析
• F152 積層型加熱炉内シリコンウェハ面上の反応ガス流動および熱伝達解析

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