盛満 和広 | (株)日立国際電気

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)日立国際電気の論文著者

関連著者

• 菊田 和重

  北大

• 近久 武美

  北海道大学大学院工学研究科エネルギー環境システム専攻

• 菱沼 孝夫

  E&e研究所

• 盛満 和広

  (株)日立国際電気

• 菱沼 孝夫

  E&E研究所

• 菊田 和重

  長岡技術科学大学大学院

• 菱沼 孝夫

  北海道大学

• 菊田 和重

  北海道大学

• 近久 武美

  北海道大学

• 近久 武美

  北大工

• 盛満 和広

  日立国際電気

• 近久 武美

  北大

• 斎藤 直子

  北海道大学大学院工学研究科

• 大黒 崇弘

  (株)日立製作所汎用コンピュータ事業部

• 菊田 和重

  北大工

• 佐々木 隆史

  (株)日立国際電気

• 福田 正直

  (株)日立国際電気

• 木谷 拓司

  北大院

• 佐々木 隆史

  北海道大学大学院工学研究科

• 大黒 崇弘

  (株)日立国際電気

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著作論文

• 半導体Siウェーハの均一高速成膜法に関する研究(流体工学,流体機械)
• 積層型減圧CVD装置におけるシリコン半導体成膜希薄ガス流動の可視化および数値シミュレーション(熱工学,内燃機関,動力など)
• 806 パッチ型LPCVD装置を用いたシリコンウエハ薄膜形成に関する影響因子解析(G06-2 熱物性・加工,G06 熱工学)

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