3605 リニアモータによる高速ナノメートル位置決め : 学習制御による高精度位置決めの実現
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概要
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To satisfy industrial requirements for a table system, such as high speed drive and accurate positioning, linear motor driven aerostatic table systems are increasing. In this paper, to realize nanometer order tracking accuracy and high speed feed drive of a table system, an application of a learning control method was investigated. And through a series of driving experiments, it was proved that a leaning control method can restrain tracking error caused by many factors such as force ripple of the linear motor.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
-
新野 秀憲
東京工業大学
-
橋詰 等
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
橋詰 等
東京工業大学精密工学研究所
-
橋詰 等
東工大
-
新野 秀憲
東工大
-
吉岡 勇人
東工大
-
吉岡 勇人
東京工業大学 精密工学研究所
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