(20)高帯域動的安定性を有する超精密テーブルシステムの研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1999-05-05
著者
-
橋詰 等
東京工業大学
-
橋詰 等
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
橋詰 等
東京工業大学精密工学研究所
関連論文
- 工作機械の製品開発方法論(マンマシンインターフェイスのユーザビリティ分析)
- 超精密リニア駆動装置の研究(リニアモータ構造の検討)
- 電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御 : 分散系電気粘性流体と液晶による特性比較
- 水溶性切削油剤による切りくず折断の促進
- 109 ナノ加工システム用超精密XY位置決めテーブル(OS9 環境適応形加工)
- 404 軸方向位置決め機能を有する静圧空気スピンドルを用いた精密フライス加工(OS4 最新機械要素技術)(OS16 トライポロジー・軸受技術)
- XYナノ位置決めテーブルシステム(S60-2 生産システムの新展開(2),S60 生産システムの新展開)
- 517 加工状態認識用マイクロセンサの開発と基本特性評価
- 給気温度制御による空気静圧主軸の熱変形抑制(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- Minimizing Thermal Deformation of Aerostatic Spindle System by Temperature Control of Supply Air
- 454 マイクロセンサ搭載工具によるナノ加工(切削・研削・研磨加工I,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- マイクロサーモパイルによる超精密切削加工の状態モニタリング(S59 機械加工システムの高度化・知能化,S59 機械加工システムの高度化・知能化)
- 工作機械産業の国際競争力分析 : 定量化SWOT分析の提案とその応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 工作機械の製品開発方法論 : 工作機械メーカにおけるコアコンピタンスの評価方法(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- W14-(2) 高速案内テーブルの精密位置決め
- Product Development Methodology for Machine Tools : Usability Analysis of Man-Machine Interface
- 加工環境制御超精密加工(超精密加工・計測を支える環境制御技術)
- 工作機械の製品開発方法論 : 新製品開発における成功要因の構造化手法(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究 : 繰返し制御による超精密位置決めの実現
- ハイブリッドリニア駆動機構による超精密位置決め
- F-0601 マイクロセンサによる加工点近傍の熱流束計測(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
- 3605 リニアモータによる高速ナノメートル位置決め : 学習制御による高精度位置決めの実現
- 多機能複合形センサによる加工環境のインプロセス認識方法
- 工作機械の製品開発方法論 : 製品仕様の記述と特性分析
- 工作機械の製品開発方法論 : 製品企画のための製品評価方法の一提案
- (20)高帯域動的安定性を有する超精密テーブルシステムの研究
- ER流体応用ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究
- 高速ナノメートル位置決めテーブルシステムの開発と基本特性評価
- 精密テーブルとその送り駆動系の連結機構に対する二,三の新提案
- トップジョー同時迅速交換方式フレキシブルチャック