517 加工状態認識用マイクロセンサの開発と基本特性評価
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概要
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Future flexible manufacturing systems require intelligent machine tools equipped with effective in-process monitoring systems for machining environment. To meet the requirements, the sensor which has properties such as multifunctionality, reliability, sensitiveness, responsibility, and compactness, is urgently required. Therefore, we developed a micro-sensor of resistance thermometry type which can detect thermal behaviour near by cutting point with high responsibility. The proposed sensor is made by-micro-fabrication technique for semiconductor product and onto tool tip surface directly. In this study, the performances of the proposed micro-sensor have been verified through a series of actual cutting experiments.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-11-20
著者
-
新野 秀憲
東京工業大学
-
橋詰 等
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
橋詰 等
東京工業大学精密工学研究所
-
松尾 哲治
東工大
-
橋詰 等
東工大
-
新野 秀憲
東工大
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