E31 精密機械システム用非接触構造アクティブ除振ユニットの開発(OS2 最新機械要素技術(2))
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概要
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Vibration isolation is widely conducted for precision machinery in order to reduce errors due to disturbance. This paper newly presents a non-contact type active vibration isolation unit which consists of an air spring, a voice coil motor, and an aerostatic bearing in order to achieve non-contact condition. In addition, the active vibration isolation with a PID controller reduces an influence of direct disturbance force. By using both the non-contact structure and the PID controller, the resonances in ground vibration transmission and direct disturbance transmission can be successfully reduced.
- 2010-11-19
著者
-
新野 秀憲
東京工業大学
-
新野 秀憲
東工大
-
吉岡 勇人
東工大
-
吉岡 勇人
東京工業大学 精密工学研究所
-
澤野 宏
東工大
-
清水 一力
東工大
-
Nimla-or Ngamsripen
チュラロンコン大
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