ＡＦＭプローブを用いた三次元形状計測システム
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概要
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Demands for measuring three-dimensional (3D) micro-geometries over a large scanning range have recently increased in a various industries such as aerospace, dies and molds, energy, etc. This paper presents a newly developed 3D profile measuring system with both a large scanning range (18mm×18mm×10mm) and a nanometer resolution. The profile measuring system developed is consisted of an AFM probing system and a newly developed 3D nano-motion system with a large travel range. Elimination of motion errors in the nano-motion system enables the AFM probe to scan a specimen with a nanometer resolution. The measurement results of an optical lens confirmed that the developed system achieves high measurement accuracy over a large scanning range.
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