超精密加工におけるインプロセス計測 (特集 最新・インプロセス/オンマシン計測技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 新野 秀憲

  東京工業大学

• 新野 秀憲

  東京工業大学 精密工学研究所

• 吉岡 勇人

  東京工業大学 精密工学研究所

関連論文

• 広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL)の開発--大学における超精密加工機の研究開発 (特集 最先端製品の開発を支える微細精密加工技術)
• 12・2 加工技術の研究状況(12.切削・工作機械,機械工学年鑑)
• 工作機械の製品開発方法論(マンマシンインターフェイスのユーザビリティ分析)
• 機械構造の自動生成に関する基礎的研究 : 第4報, 記号演算による運動伝達系の機能構造の生成法
• 10年ひとにらみ
• 切削中のチャック把握力の経時変化
• 超精密リニア駆動装置の研究(リニアモータ構造の検討)
• 電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御 : 分散系電気粘性流体と液晶による特性比較
• 工作機械の現状と将来 (特集:工作機械と油空圧-1-)
• 超精密切削加工機におけるトライボロジー (特集 微細加工技術とトライボロジー)
• 色むらの多次元定量化についての一提案
• 熱流束センサによる加工状態のインプロセスモニタリング : 工具摩耗の監視
• 水溶性切削油剤による切りくず折断の促進
• A27 ハイブリッドアクチュエータを用いた高トルク高精度回転機構の開発(OS-1 最新工作機械(6))
• 109 ナノ加工システム用超精密XY位置決めテーブル(OS9 環境適応形加工)
• XYナノ位置決めテーブルシステム(S60-2 生産システムの新展開(2),S60 生産システムの新展開)
• 517 加工状態認識用マイクロセンサの開発と基本特性評価
• 多大元評価ベクトルを用いた基本設計における意思決定方法 : 工作機械主軸系の軸受形式選択への応用
• 給気温度制御による空気静圧主軸の熱変形抑制(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• Minimizing Thermal Deformation of Aerostatic Spindle System by Temperature Control of Supply Air
• 454 マイクロセンサ搭載工具によるナノ加工(切削・研削・研磨加工I,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
• マイクロサーモパイルによる超精密切削加工の状態モニタリング(S59 機械加工システムの高度化・知能化,S59 機械加工システムの高度化・知能化)
• 工作機械産業の国際競争力分析 : 定量化SWOT分析の提案とその応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 工作機械の製品開発方法論 : 工作機械メーカにおけるコアコンピタンスの評価方法(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• Product Development Methodology for Machine Tools : Usability Analysis of Man-Machine Interface
• 加工環境制御超精密加工(超精密加工・計測を支える環境制御技術)
• 工作機械の製品開発方法論 : 新製品開発における成功要因の構造化手法(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 高速ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究 : 繰返し制御による超精密位置決めの実現
• ハイブリッドリニア駆動機構による超精密位置決め
• F-0601 マイクロセンサによる加工点近傍の熱流束計測(S41-1 生産システムにおけるハードウェア技術(1))(S41 生産システムにおけるハードウェア技術)
• 3605 リニアモータによる高速ナノメートル位置決め : 学習制御による高精度位置決めの実現
• 多機能複合形センサによる加工環境のインプロセス認識方法
• 超精密切削加工機におけるトライボロジー
• 超精密加工におけるインプロセス計測 (特集 最新・インプロセス/オンマシン計測技術)
• 超精密加工機「ANGEL」の特徴と今後の展開
• 集束イオンビームによる硬ぜい性材料のナノ加工に関する研究
• 超精密加工機のハードウェア技術 (特集欄 超精密マイクロ・ナノ機械加工) -- (超精密加工機と周辺技術)
• 油空圧機器と超精密加工技術--流体制御技術の適用による3次元ナノ加工の実現 (特集 "油空圧を支える"材料ともの作り)
• 超精密・微細加工を実現するためのフルードパワーシステム
• 511 ベルト駆動X-Y精密位置決めテーブルシステム(OS-4 機械要素技術)
• 510 リニアモータ駆動超音波浮上テーブルシステムの開発(OS-4 機械要素技術)
• 超音波加工 超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム
• 453 硬ぜい材料のイオンビーム加工における微細加工特性(切削・研削・研磨加工I,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
• 接合面を有する系の減衰振動の解析 : 変形量に比例する抵抗力が作用する場合
• 工作機械用摩擦形乾式単板電磁クラッチ駆動方式の熱的特性
• 接合面を有する系の減衰振動の解析 : 残留変位が生じる場合
• 接合面を有する系の減衰振動の解析 : 第1報,微小すべりが生じる場合
• 工作機械の主軸受コンタクトパターン変化の超音波インプロセス計測
• 工作機械構造の熱的適合設計のためのシミュレーション方法 : 主軸受周辺構造体と主軸台構造の特性解明への応用
• 工作機械の製品開発方法論 : 製品仕様の記述と特性分析
• 工作機械の製品開発方法論 : 製品企画のための製品評価方法の一提案
• ER流体応用ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究
• 高速ナノメートル位置決めテーブルシステムの開発と基本特性評価
• 精密テーブルとその送り駆動系の連結機構に対する二,三の新提案
• トップジョー同時迅速交換方式フレキシブルチャック
• 加工力情報を用いたウォータジェット加工の状態認識
• 多次元空間ベクトルによるマシニングセンタの市場競争力評価
• 工作機械主軸系の軸受ハウジングおよびタイル構造の熱的特性
• 熱的閉ループ概念による工作機械主軸系の熱特性解析 : 高速主軸アダプタの熱変形緩和効果
• 加工力情報に基づくウォータジェット自律加工システムの構築
• 16・1 概論(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• 超精密金属鏡加工技術の研究 : 超精密加工用工作物取付法
• 精密機械システム用非接触構造アクティブ除振ユニット
• マシニングセンタの構造形態設計 : 結合パターンを用いたバリアント方式について
• マシニングセンタの記述と携帯分析
• 「生産加工・工作機械の規範2010」特集号発刊にあたって
• E31 精密機械システム用非接触構造アクティブ除振ユニットの開発(OS2 最新機械要素技術(2))
• ＡＦＭプローブを用いた三次元形状計測システム
• C12 AFMプローブを用いた三次元形状計測システム(OS5 加工計測・評価(1))
• 3・3 FAハードウェア技術の展開(3.FAハードウェア)(研究展望)
• 3・2・4 搬送・倉庫機能(3.FAハードウェア)(3・2 システム機能)(研究展望)
• 3・2・3 状態認識機能(3.FAハードウェア)(3・2 システム機能)(研究展望)
• 3・2・2 制御機能(3.FAハードウェア)(3・2 システム機能)(研究展望)
• 3・2・1 中核処理機能(3.FAハードウェア)(3・2 システム機能)(研究展望)
• 3・1 システム構成(3.FAハードウェア)(研究展望)
• 1. CIM (機械工学年鑑(1991年)ファクトリーオートメーション(FA))
• 17. ファクトリーオートメーション (FA) 17・1 CIM (機械工学年鑑)
• 工程設計と知識処理(知識工学と生産技術)
• CAD/CAMにおける製品記述とその応用
• 工作機械の構造創成方法 : 第3報,結合パターンを用いたバリアントデザイン方式による創成
• 工作機械の構造創成方法 : 第2報,フリー・デザイン方式による創成
• 工作機械の構造創成方法 : 第1報,バリアント・デザイン方式による創成
• 工作機械の構造記述 : 第3報,構造形態の類似性の判定
• 工作機械の構造記述 : 第2報,構造の類似性の判定
• 工作機械の構造記述 : 第1報,記述方法とそれによる二,三の記述例

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク