超精密金属鏡加工技術の研究 : 超精密加工用工作物取付法
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概要
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Ultra-precision machining technology for metal optics has recently become important, in response to demands for high energy laser equipment and magnetic memory disks. In order to realise such precision machining, it is necessary to pay special attention to the workpiece fixture. Conventional fixture techniques, such as vaccum or multi jaw chucks, tend to provide adequate support, but they can also introduce unacceptable levels of partial distortion. In this paper, therefore, distortion-free workpiece techniques for metal mirrors are proposed, simultaneously clarifying both the characteristics and beneficial features.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1985-11-25
著者
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