510 リニアモータ駆動超音波浮上テーブルシステムの開発(OS-4 機械要素技術)
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概要
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The positioning table systems applied for recent precision equipments require nanometer-positioning functions, high speed drive capability and a compact structure. In order to meet these requirements, a non-contact mechanism by non-contact guiding and driving are effective. In this paper, therefore, an ultrasonic levitation table system driven by linear motor was developed. The table system was able to decrease vibration transmission from ultrasonic guideway to the table by a multiple constrained structure. The results of actual table positioning experiments confirmed that the developed system has remarkable performance.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
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