29p-BPS-51 A1単原子層蒸着Si面上に及ぼす水素吸着の影響のLEED観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-09-12
著者
-
生地 文也
九州共立大学工学部メカエレクトロニクス学科
-
大西 秀朗
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター
-
尾浦 憲治郎
阪大工
-
内藤 正路
阪大工
-
生地 文也
阪大工
-
大西 秀朗
阪大工
-
尾崎 裕一
阪大工
-
内藤 正路
九州工業大学大学院工学研究院
-
生地 文也
九州共立大学工学部
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