粗微動高精度実装ロボットの開発(第1報) : 2軸微動機構の開発
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概要
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A high precision mounting robot system consisting of SCARA robot and fine motion mechanism attached to the end effector of the robot is being developed by authors, This paper introduces basic concept and design specification of the system, and describes the design and capability of developed X-Y axes fine motion mechanism for this purpose in details. Developed fine motion mechanism is composed of piezo-electric actuator and displacement magnifying mechanism with elastic hinge. Detailed structure of the mechanism is designed by simulation based on FEM. Experimental results of positioning show the effectiveness of developed fine motion mechanism.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2000-01-05
著者
-
金森 哉吏
電気通信大学知能機械工学科
-
明 愛国
電気通信大学大学院電気通信学研究科
-
梶谷 誠
電気通信大学
-
増田 修一
日本無線(株)
-
オマーリ アブデルハフィド
Department Of Mechanical Eng. & Intelligent Systems The University Of Electro-communications
-
オマーリ アブデルハフィド
電気通信大学大学院
-
Kanamori C
Univ. Electro‐communications Tokyo Jpn
-
明 愛国
電気通信大学
-
金森 哉吏
電気通信大学
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