酸性溶液でのニッケル-はんだ(鉛/スズ)選択エッチング技術
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概要
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はんだ(鉛/スズ)に溶解ダメージを与えないニッケルエッチング液の設計を目的に, 三角図表示を用いて塩酸/硝酸/酢酸3成分系溶液におけるエッチング選択比の高い溶液混合比を求めた。エッチング選択比(γ)は, 金属の重量変化量と膜厚変化量から溶解速度(V_M)を求めて定量化した。実験の結果, エッチング選択比を高くする溶液混合比は酢酸>硝酸>塩酸であることがわかった。この溶液混合比にすることではんだ溶解ダメージの少ないエッチング選択比γ>1を実現できた。
- 1999-01-01
著者
-
本間 荘一
株式会社東芝セミコンダクター社半導体組立要素技術部
-
木崎 幸男
(株)東芝材料・デバイス研究所
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木崎 幸男
株式会社東芝材料・デバイス研究所
-
山田 浩
株式会社東芝材料・デバイス研究所
-
樋口 和人
株式会社東芝材料・デバイス研究所
-
本間 荘一
株式会社東芝半導体生産技術推進センター
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