無線通信マイクロカメラシステムのMEMS3次元実装技術
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概要
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発電施設10mmφ配管内部を無線移動する検査ロボット先端部に搭載する無線通信マイクロカメラシステムを開発した。外部ホストコンピュータにCCD撮像信号を無線伝送するための信号処理回路と, ホストコンピュータからCCDを駆動させるための信号制御回路の高密度実装を, 高アスペクト比の側面電極を有する3次元実装ブロックを開発することで実現した。CCD視線変更による配管側面の検査は, 静電ワブルモータを2軸に組み合わせたミラー揺動機構により実現した。これらMEMSデバイスを搭載したマイクロカメラシステムを試作した結果, 10mmφ配管内部を20μm分解能で撮像する良好な動作を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-02-09
著者
-
山田 浩
(株)東芝研究開発センター
-
山田 浩
株式会社東芝材料・デバイス研究所
-
栂嵜 隆
(株)東芝生産技術センター
-
栂嵜 隆
株式会社東芝研究開発センター材料・デバイス研究所
-
木村 正信
株式会社東芝
-
貞本 敦史
株式会社東芝研究開発センター機械・システムラボラトリー
-
須藤 肇
株式会社東芝研究開発センター機械・システムラボラトリー
-
貞本 敦史
東芝
-
須藤 肇
株式会社東芝
-
須藤 肇
(株)東芝 研究開発センター機械・システム ラボラトリー
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