本間 荘一 | 株式会社東芝半導体生産技術推進センター
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概要
関連著者
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本間 荘一
株式会社東芝半導体生産技術推進センター
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斉藤 雅之
(株)東芝 材料・デバイス研究所
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山田 浩
株式会社東芝材料・デバイス研究所
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(株)東芝材料・デバイス研究所
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東芝
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宮城 武史
東芝研究開発センター
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斉藤 雅之
東芝研究開発センター
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須藤 俊夫
(株)東芝
著作論文
- 酸性溶液でのニッケル-はんだ(鉛/スズ)選択エッチング技術
- はんだバンプのバリアメタルに及ぼす酸素の影響
- 高精度はんだバンプ形成用電気めっき装置の開発
- 成膜方法とはんだバンプ用銅バリアメタルの評価
- はんだバンプにおける銅バリアメタルの信頼性
- はんだバンプのバリアメタル構造評価
- 電気めっき法による微細はんだバンプ形成技術