半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発(4) : プラズマ加工中の温度精密計測
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2012-04-20
著者
-
高橋 賢
独立行政法人通信総合研究所
-
清水 哲夫
独立行政法人産業技術総合研究所
-
新堀 俊一郎
株式会社三友製作所
-
白山 裕也
株式会社三友製作所
-
横須賀 俊太郎
株式会社三友製作所
-
樫村 健太
株式会社三友製作所
-
内藤 泰久
独立行政法人産業技術総合研究所
-
徳本 洋志
独立行政法人産業技術総合研究所
-
徳本 洋志
Jrcat-nair
-
徳本 洋志
アトムテクノロジー研究体-産業技術融合領域研究所
-
堀江 智之
独立行政法人産業技術総合研究所
-
岩瀬 千克
株式会社三友製作所
-
林 明宏
株式会社三友製作所
-
高橋 賢
独立行政法人産業技術総合研究所
関連論文
- 半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発
- マイクロ波帯移動通信における遅延広がりのアンテナチルト依存性(衛星, 移動通信におけるアンテナ・伝搬技術及び一般)
- MIMO固有ビーム伝送における誤り率の確率的推定(ブロードバンド無線アクセス技術, IPをサポートする無線アクセス技術, 光無線システム, 無線通信一般, およびRCS/CS各研究会一般テーマ)
- 逐次型伝搬路推定を用いた高速移動OFDMパケット無線伝送システム : 概要と基礎伝送結果(ブロードバンド無線アクセス技術, IPをサポートする無線アクセス技術, 光無線システム, 無線通信一般, およびRCS/CS各研究会一般テーマ)
- SS方式レーダをベースにした車車間通信システムの実験検討(ITS通信・一般)
- SS方式レーダをベースにした車車間通信システムの提案(ITS通信・一般)
- YRPにおけるミリ波車々間通信実証実験の報告(ITS通信・一般)
- 60GHzミリ波車々間通信における高速走行時のフェージング特性
- 60GHzミリ波車々間通信における伝搬損距離特性
- B-1-39 ミリ波車両間通信における実測伝搬損の解析例
- 慢性炎症における冷痛覚過敏には, 末梢神経の変化が関与する
- 低温・低圧刺激は慢性炎症による痛覚過敏を増悪させる
- 小型走査電子顕微鏡用カーボンナノチューブ電子銃の安定性評価
- ナノギャップ電極を用いた新しい不揮発性メモリの開発
- 走査プローブ顕微鏡による表面原子・分子化学分析
- 原子操作と識別技術
- 探針に吸着させた原子種の同定
- 25p-YM-3 原子操作によりSiを捕獲したSTM探針のFIM観察
- 6p-B-12 原子操作によるタングステンシリサイド形成
- 30p-E-10 Asを高ドープしたSi(001)の表面構造
- タングステン上の重水素の吸着
- 1p-M-5 STMによる原子スケール塑性現象 : ステップ形成のメカニズム
- 14a-W-2 Bi-2223薄膜の変調構造
- 26a-Y-2 Si(001)表面上ダイマー欠陥のダイナミックス
- 4a-M-11 STMによる有機超伝導体の観察IV
- 5p-ZB-15 低温STMによる単結晶酸化物超伝導体のトンネル分光
- 3a-B4-9 STM/STSによる4Hb-TaS2とGICの電子状態解析
- 24p-M-5 GaAs中に埋め込まれたSi超薄膜のラマン散乱
- 3a-B4-5 UHV-STMによるSi表面の観察(III)
- 5p-S4-15 STMによる有機超伝導体の観察II
- 6p-A2-5 三重障壁ダイオードの2つの量子井戸間の電子トンネリングに対する垂直磁場の効果
- 6p-A2-4 三重障壁ダイ・オードの2つの量子井戸間の電子トンネリングに対する平行磁場の効果
- C-11 走査型トンネル顕微鏡用圧電セラミックス微動機構(圧電材料・振動子)
- 電界イオン顕微鏡を装備した超高真空走査型トンネル顕微鏡の試作とSi(001)表面へのAl吸着初期過程の観察
- ナノギャップ電極を用いた分子ワイヤの測定
- 化合物半導体表面研究用UHV-STM装置の開発
- 原子間力顕微鏡を用いたけい酸エステルとオゾンの科学気相堆積プロセスの分析
- 半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発
- 6a-T-4 Si(111)劈開面のSTM観察
- MIMO固有ビーム伝送における誤り率の確率的推定(ブロードバンド無線アクセス技術, IPをサポートする無線アクセス技術, 光無線システム, 無線通信一般, およびRCS/CS各研究会一般テーマ)
- レイトレース法によるMIMO伝送の誤り率場所依存性の推定
- レイトレース法によるMIMO伝送の誤り率場所依存性の推定
- Antenna-Phase Controlled SDM/OFDM with Polarization Diversity for Dynamic Parameter Controlled OFDM System(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- Antenna-Phase Controlled SDM/OFDM with Polarization Diversity for Dynamic Parameter Controlled OFDM System
- Antenna-Phase Controlled SDM/OFDM with Polarization Diversity for Dynamic Parameter Controlled OFDM System(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- Reverse Link Performance Improvement for Dynamic Parameter Controlled OFDM Using Alamouti Coded Heterogeneous Polarization Antennas.(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- Reverse Link Performance Improvement for Dynamic Parameter Controlled OFDM Using Alamouti Coded Heterogeneous Polarization Antennas
- Reverse Link Performance Improvement for Dynamic Parameter Controlled OFDM Using Alamouti Coded Heterogeneous Polarization Antennas.(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- Versatility of Self-Oscillation Technique with Mechanical-Acoustic Excitations for Frequency Modulation Atomic Force Microscope in Liquids
- 2a-D-6 GaAs/(AlAs)_n/GaAs単一量子壁のラマン散乱
- 白色光源を用いた走査型近接場光学顕微鏡の試作
- 液液界面における分子挙動を光散乱で見る (1994年の化学-9-)
- 準弾性レーザー散乱法によるニトロベンゼン/水界面での単分子膜の形成に伴う界面張力変化の検出(表面・界面・薄膜と分析化学)
- リウマチ様単関節炎ラットの痛覚過敏に対する気象要因変化(低気圧・低温曝露)の影響(第2報)
- アジュバント関節炎ラットの機械刺激に対する痛覚過敏は低気圧・低温曝露により増悪する
- 2a-T-8 Si(111)劈開面のSTM像と構造モデル
- 24aY-8 低温STMによるSi(001)上に吸着されたXe原子の観察
- 低温STMの開発
- 超高真空走査トンネル顕微鏡による水素終端シリコン表面の観察
- 25aWB-2 UHV-STMを用いたSi(111)-3/4×3/4:N(quadruplet)表面の構造解析
- 22pT-6 UHV-STMを用いたSi(111)-8x8:N表面の構造解析
- 水素終端シリコン表面の形成
- 2p-YD-13 STMを用いたSi(111)-1×1:Hからの水素脱離II
- 溶液処理を用いたシリコン(001)表面の平坦化
- 水素終端Si (001) 基板上での銅フタロシアニン配向制御
- Si表面のSTMによる観察 (超格子素子基礎技術) -- (極薄膜ヘテロ界面の構造と特性評価)
- 23pW-4 走査型アトムプローブによるカーボンナノチューブの原子レベルの解析
- 逐次型伝搬路推定を用いた高速移動OFDMパケット無線伝送システム : 概要と基礎伝送結果(ブロードバンド無線アクセス技術, IPをサポートする無線アクセス技術, 光無線システム, 無線通信一般, およびRCS/CS各研究会一般テーマ)
- 25a-YM-11 STMを用いたSi(111)-1×1:Hからの水素脱離III
- 30p-N-6 高温STMを用いた表面インデンテーションによるシリコンの細線の作成とその電気伝導評価
- STMによる原子細線加工とその物性
- 1p-YA-5 STMによるシリコン原子のレヤーバイレヤー操作と量子コンダクタンス
- D-4 探針の押し込みによる弾性変形の分子力学シミュレーション(D.超音波基礎・非線形)
- SC-9-6 STMを用いた機能性分子自己組織化膜(SAM)の局所的電気伝導性測定
- B-5-64 Dynamic Parameter Controlled OF/TDMAによる高速移動広帯域無線アクセスシステム(B-5.無線通信システムA(移動通信))
- Dynamic Parameter Controlled OF/TDMAによる新世代移動通信システム(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- Dynamic Parameter Controlled OF/TDMAによる新世代移動通信システム(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- Carbon-Nanotube Tip for Highly-Reproducible Imaging of Deoxyribonucleic Acid Helical Turns by Noncontact Atomic Force Microscopy
- 化合物半導体上に形成した自己組織化単分子膜とそのナノ構造
- 金属薄膜、有機単分子膜、高分子表面のナノメートル構造
- Observation of Atomic Image of 2H-NbSe_2 Surface by Scanning Tunneling Microscope
- Carbon Nanotube Tip for Scanning Tunneling Microscope
- Atomic Force Microscopy of Single-Walled Carbon Nanotubes Using Carbon Nanotube Tip
- Heat-Induced Phase Separation of Self-Assembled Monolayers of a Fluorocarbon-Hydrocarbon Asymmetric Disulfide on a Au(111) Surface ( Scanning Tunneling Microscopy)
- Lateral Conduction Model for Intermolecular Interaction of Self-Assembled Monolayers
- Identification of Materials using Direct Force Modulation Technique with Magnetic AFM Cantilever ( Scanning Tunneling Microscopy)
- Monolayer Nitridation of Si(001) Surfaces
- Monolayer Nitridation of Si(001) Surfaces
- Preparatiorn of Self-Assembled Mercaptoalkanoic Acid Multilayers on GaAs (110) Surfaces
- Nanometer-Scale Wires of Monolayer Height Alkanethiols on AlGaAs/GaAs Heterostructures by Selective Chemisorption
- STMと表面原子像観察 (キャラクタリゼ-ション技術の新しい展開--ナノ-サブナノ領域材料評価技術)
- Dynamic Parameter Controlled OF/TDMAによる新世代移動通信システム(衛星を用いる移動体通信,無線通信一般)
- ナノギャップ電極を用いた, 分子の導電性測定
- 半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発(4) : プラズマ加工中の温度精密計測
- 半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発(3) : 四重極質量分析による加工モニタリング
- 全地球衛星測位システムにおける地上擬似衛星信号の送信方法(ネットワークプロセッサ,通信のための信号処理,無線LAN/PAN,一般)
- 全地球衛星測位システムにおける地上擬似衛星信号の送信方法(ネットワークプロセッサ,通信のための信号処理,無線LAN/PAN,一般)
- 全地球衛星測位システムにおける地上擬似衛星信号の送信方法(ネットワークプロセッサ,通信のための信号処理,無線LAN/PAN,一般)
- ナノギャップ構造を用いた，不揮発抵抗スイッチ効果
- ナーノギャップ構造を用いた, 不揮発抵抗スイッチ効果