小型走査電子顕微鏡用カーボンナノチューブ電子銃の安定性評価
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概要
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Carbon nanotube (CNT) has unique field emission (FE) properties. CNT can emit electrons in lower vacuum condition than other field emitters. Therefore we have investigated its emission properties and developed a small size scanning electron microscope (SEM) equipped with CNT electron emitter that can operate at low extraction voltages at a pressure of 10-3 Pa. In order to ensure enough stability for SEM operation, we measured the FE current in various partial pressure condition and numerically analyzed power spectral density function of field emission current by a computer. As a result, we have found it very effective to heat an emitter and metal parts around an emitter. Finally, we added heating system in a CNT-FE-SEM and succeeded in taking a stable image.
- 日本真空協会の論文
- 2007-06-20
著者
-
清水 哲夫
産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門
-
西岡 泰城
日本大学理工学部
-
清水 哲夫
独立行政法人産業技術総合研究所
-
菅 洋志
産業技術総合研究所
-
大野 輝昭
テクネックス工房
-
田中 深幸
産業技術総合研究所
-
徳本 洋志
北海道大学電子科学研究所ナノテクノロジー研究センター
-
徳本 洋志
独立行政法人産業技術総合研究所
-
徳本 洋志
Jrcat-nair
-
徳本 洋志
アトムテクノロジー研究体-産業技術融合領域研究所
-
徳本 洋志
北海道大学電子科学研究所附属ナノテクノロジー研究センター
-
Tokumoto Hiroshi
Elecltrotechnical Laboratory
-
Tokumoto Hiroshi
Joint Research Center For Atom Technology (jrcat)
-
徳本 洋志
北海道大学電子科学研究所
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