原子間力顕微鏡を用いたけい酸エステルとオゾンの科学気相堆積プロセスの分析
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概要
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- 社団法人精密工学会の論文
- 1994-07-05
著者
-
杉原 和佳
(株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所
-
田中 国義
(株)東芝研究開発センター
-
田中 国義
(株)東芝 基礎研
-
酒井 明
京都大学工学部付属メゾ材料研究センター
-
松浦 彰
(株)東芝研究開発センター
-
松田 哲朗
(株)東芝研究開発センターulsi研究所
-
徳本 洋志
電総研
-
徳本 洋志
電子技術総合研究所
-
徳本 洋志
Jrcat-nair
-
赤間 善昭
(株)東芝研究開発センターULSI研究所
-
杉原 和佳
(株)東芝
-
豊崎 正男
(株)東芝研究開発センターULSI研究所
-
塚田 志郎
(株)東芝研究開発センター
-
赤間 善昭
(株)東芝生産技術研究所
-
酒井 明
京都大学工学研究科附属メゾ材料研究センター
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