電子ビーム堆積を利用したAFM探針の作製とライン・アンド・スペースパターンの観察

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1994-05-05

著者

• 西村 英二

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所

• 杉原 和佳

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所

• 酒井 明

  京都大学工学部付属メゾ材料研究センター

• 赤間 善昭

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 杉原 和佳

  (株)東芝

• 赤間 善昭

  (株)東芝生産技術研究所

• 酒井 明

  京都大学工学研究科附属メゾ材料研究センター

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