赤間 善昭 | (株)東芝生産技術研究所

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概要

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• (株)東芝生産技術研究所の論文著者

関連著者

• 赤間 善昭

  (株)東芝生産技術研究所

• 杉原 和佳

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所

• 酒井 明

  京都大学工学部付属メゾ材料研究センター

• 赤間 善昭

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 杉原 和佳

  (株)東芝

• 酒井 明

  京都大学工学研究科附属メゾ材料研究センター

• 徳本 洋志

  電総研

• 徳本 洋志

  電子技術総合研究所

• 徳本 洋志

  Jrcat-nair

• 西村 英二

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所

• 田中 国義

  (株)東芝研究開発センター

• 田中 国義

  (株)東芝 基礎研

• 松浦 彰

  (株)東芝研究開発センター

• 松田 哲朗

  (株)東芝研究開発センターulsi研究所

• 小野 雅敏

  電子技術総合研究所

• 光武 邦寛

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 庄田 尚弘

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 加藤 芳秀

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 豊崎 正男

  (株)東芝研究開発センターULSI研究所

• 塚田 志郎

  (株)東芝研究開発センター

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著作論文

• 電界イオン顕微鏡を装備した超高真空走査型トンネル顕微鏡の試作とSi(001)表面へのAl吸着初期過程の観察
• 原子間力顕微鏡を用いたけい酸エステルとオゾンの科学気相堆積プロセスの分析
• 電子ビーム堆積を利用したAFM探針の作製とライン・アンド・スペースパターンの観察
• 積層型電界放出エミッタの電子放出特性

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