ボロンドープトシリコン膜の成膜モデルとホール内膜厚分布シミュレーション
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概要
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- 2012-02-20
著者
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峰 利之
(株)日立製作所中央研究所
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臼井 建人
(株)日立製作所機械研究所
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加賀爪 明子
(株)日立製作所機械研究所
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加賀爪 明子
日立機械研
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峰 利之
日立製作所中央研究所
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伊賀 良彦
日立機械研
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臼井 建人
(株)日立製作所中央研究所
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伊賀 良彦
(株)日立製作所日立研究所
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矢野 資
(株)日立製作所中央研究所
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加藤 久幸
ルネサスエレクトロニクス株式会社
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加賀爪 明子
(株)日立製作所日立研究所
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