臼井 建人 | (株)日立製作所機械研究所
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概要
関連著者
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臼井 建人
(株)日立製作所機械研究所
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臼井 建人
株式会社日立製作所機械研究所
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小林 淳一
株式会社日立製作所機械研究所
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池川 正人
(株)目立製作所機械研究所
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堤 芳紹
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池川 正人
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菅野 誠一郎
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渡部 一典
株式会社日立製作所機械研究所
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岡本 昭夫
大阪府立産業技術総合研究所
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川合 知二
大阪大学産業科学研究所
著作論文
- 分子線サンプリング法による化学蒸着反応機構の解析
- 分子線サンプリング法を用いた化学蒸着反応機構解析装置の開発(第二報)
- 分子線サンプリング法を用いたCVD反応機構解析装置の開発
- 有磁界マイクロ波プラズマエッチング装置の希薄流構造とエッチング生成物の排気に関する直接シミュレーションモンテカルロ法解析
- 双極型静電チャックの特性評価
- 双極型静電チャックの内部電極の面積比が残留吸着力に及ぼす影響
- サマリー・アブストラクト
- レーザ誘起蛍光法による蒸発分子流の挙動計測
- ボロンドープトシリコン膜の成膜モデルとホール内膜厚分布シミュレーション