池川 正人 | (株)日立製作所機械研究所

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概要

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• 池川 正人

  (株)日立製作所機械研究所

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• 小林 淳一

  株式会社日立製作所機械研究所

• 小林 淳一

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• 田中 潤一

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• 東條 健司

  (株)日立製作所機械研究所

• 東條 健司

  (株)日立空調システム清水生産本部

• 小川 芳文

  (株)日立製作所電力・電機グループ笠戸半導体装置本部

• 福山 良次

  (株)日立製作所電力・電機グループ笠戸半導体装置本部

• 臼井 建人

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• 椎林 正夫

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• 村山 朗

  (株)日立製作所清水工場

• 臼井 建人

  (株)日立製作所中央研究所

• 東條 健司

  (株)日立空調システム

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著作論文

• 直接シミュレーションモンテカルロ法による半導体成膜形状シミュレーション
• 直接シミュレーションモンテカルロ法による希薄流シミュレータの開発 : 第1報,上流と下流の圧力条件を与えた場合の二次元流れ解析
• 有磁界マイクロ波プラズマエッチング装置の希薄流構造とエッチング生成物の排気に関する直接シミュレーションモンテカルロ法解析
• 薄膜製造のミクロ機構 : 希薄気体流解析と微小溝部の薄膜形状
• スクロール圧縮機作動室内の油が性能に及ぼす影響

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