臼井 建人 | (株)日立製作所中央研究所
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概要
関連著者
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臼井 建人
(株)日立製作所機械研究所
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(株)目立製作所機械研究所
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玉川大学工学部
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脇本 裕之
北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科
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加賀爪 明子
(株)日立製作所機械研究所
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福井工業高等専門学校
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黒河内 智
Japan Vacs Metal Co., Ltd.
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岡部 政之
Japan Vacs Metal Co., Ltd.
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Japan Vacs Metal Co., Ltd.
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Japan Vacs Metal Co., Ltd.
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大阪府立大学工学部物理工学科
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亀山 育也
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吉原 一紘
科学技術庁金属材料技術研究所
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織田 晃祐
横浜国立大学工学部知能物理工学科
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横浜国立大学工学部知能物理工学科
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橘内 浩之
(株)日立製作所機械研究所
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妻木 伸夫
(株)日立製作所機械研究所
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沢平 嘉浩
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長濱 博之
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阿川 義昭
日本真空技術株式会社
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日立製作所中央研究所
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科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト
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著作論文
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- 分子線サンプリング法を用いた化学蒸着反応機構解析装置の開発(第二報)
- 分子線サンプリング法を用いたCVD反応機構解析装置の開発
- 有磁界マイクロ波プラズマエッチング装置の希薄流構造とエッチング生成物の排気に関する直接シミュレーションモンテカルロ法解析
- 双極型静電チャックの特性評価
- 双極型静電チャックの内部電極の面積比が残留吸着力に及ぼす影響
- サマリー・アブストラクト
- ボロンドープトシリコン膜の成膜モデルとホール内膜厚分布シミュレーション